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展会回顾|双展落幕 载誉前行!中科仪2026两大展会圆满收官

展会回顾|双展落幕 载誉前行!中科仪2026两大展会圆满收官 中国科学院沈阳科仪
2026-10-16
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导读:金秋硕果盈枝,科创步履不停。十月,中科仪先后亮相2026中国国际工业博览会(“工博会”)、湾区半导体产业生态博览会(“湾芯展”)两大行业重磅盛会,立足半导体高端装备赛道,展示技术实力、对接产业资源、斩

金秋硕果盈枝,科创步履不停。十月,中科仪先后亮相2026中国国际工业博览会(“工博会”)、湾区半导体产业生态博览会(“湾芯展”)两大行业重磅盛会,立足半导体高端装备赛道,展示技术实力、对接产业资源、斩获行业荣誉。


10月16日,2026工博会在上海国家会展中心顺利落幕。展会期间,中科仪与众多客户、行业同仁面对面深度交流、精准对接需求。作为工业领域年度顶级盛会,工博会汇聚全产业链创新成果,为技术互通、资源共享、合作共赢搭建了优质平台。每一次专业探讨、每一份认可与建议,都是中科仪持续打磨产品、迭代技术、优化服务的不竭动力。盛会落幕,初心不改,我们期待与广大合作伙伴持续携手、深耕产业、共赴新程。





同期,2026湾芯展在深圳圆满收官。展会以“芯向未来·智创生态”为主题,集聚全国半导体产业链上下游优质资源,集中展示行业前沿技术与创新解决方案,为产业协同发展、生态共建共享注入强劲动能。




展会同期重磅举办“湾芯奖”评选盛典,经过行业专家多轮评审与业内投票,中科仪凭借第三代干式真空泵的硬核技术优势,成功斩获“2026湾芯奖·技术创新企业”荣誉称号。

依托多年自主研发深耕,中科仪第三代干式真空泵实现能耗、稳定性、运行成本的全方位迭代升级,可广泛适配集成电路、光伏锂电、精密制造等领域和应用场景,有效解决行业生产痛点,凭借优异国产化装备性能获得评委与客户高度认可。荣誉加冕,是肯定更是责任;载誉前行,是沉淀更是新始。



中科仪干式真空泵产品覆盖集成电路清洁工艺、中等工艺、苛刻工艺三大应用场景,是国内唯一在集成电路先进制程实现批量应用的干式真空泵制造企业,也是唯一在上述三大工艺领域均实现批量应用的国产企业。中科仪业已成为集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业,产品累计装机数量超过5万台。

未来,中科仪将进一步加大研发投入,不断推进产品迭代与技术革新,持续深化产业链上下游协同,拓展多元合作维度,凝聚产业发展合力,依托稳定可靠的运行性能、优异的能耗控制能力、智能化运行体系等核心优势,有效助力半导体企业提质增效、降本降耗,为集成电路全流程生产场景提供坚实可靠的装备支撑。



 关于我们

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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

中科仪创立于1958年,拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三大国家级研发平台。公司以洁净真空、超高真空技术为基础,面向高端科研仪器、光伏、半导体、LED等战略新兴领域,是集研发、生产、销售、服务为一体的科技创新型企业,为国家战略性新兴产业发展和重大科技创新体系建设提供支撑。

上海上凯仪真空技术有限公司

上海上凯仪成立于2013年,为中科仪旗下全资子公司。公司主营干式真空泵及各类真空设备维保业务,可承接多品牌干泵维修,为泛半导体领域客户提供返厂大修、现场维保、故障排查等全周期服务。

中科仪(南通)半导体设备有限责任公司

中科仪(南通)成立于2020年,为中科仪旗下全资子公司。公司以干式真空泵产品为主营业务,产品洁净无油、稳定可靠、效率高、能耗低,可为泛半导体领域提供一站式真空技术解决方案。

中科仪(广州)半导体设备有限责任公司

中科仪(广州)成立于2023年,为中科仪旗下全资子公司。公司主营复合式大抽速干泵、大腔室快抽速干式螺杆真空泵、subfab附属设备的研发与产业化。

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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

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