金秋硕果盈枝,科创步履不停。十月,中科仪先后亮相2026中国国际工业博览会(“工博会”)、湾区半导体产业生态博览会(“湾芯展”)两大行业重磅盛会,立足半导体高端装备赛道,展示技术实力、对接产业资源、斩获行业荣誉。
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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
中科仪创立于1958年,拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三大国家级研发平台。公司以洁净真空、超高真空技术为基础,面向高端科研仪器、光伏、半导体、LED等战略新兴领域,是集研发、生产、销售、服务为一体的科技创新型企业,为国家战略性新兴产业发展和重大科技创新体系建设提供支撑。
上海上凯仪真空技术有限公司
上海上凯仪成立于2013年,为中科仪旗下全资子公司。公司主营干式真空泵及各类真空设备维保业务,可承接多品牌干泵维修,为泛半导体领域客户提供返厂大修、现场维保、故障排查等全周期服务。
中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
中科仪(南通)成立于2020年,为中科仪旗下全资子公司。公司以干式真空泵产品为主营业务,产品洁净无油、稳定可靠、效率高、能耗低,可为泛半导体领域提供一站式真空技术解决方案。
中科仪(广州)半导体设备有限责任公司
中科仪(广州)成立于2023年,为中科仪旗下全资子公司。公司主营复合式大抽速干泵、大腔室快抽速干式螺杆真空泵、subfab附属设备的研发与产业化。
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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
沈阳市浑南新区新源街1号
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行业地位
国家级创新平台
真空技术装备国家工程研究中心
国家真空仪器装置工程技术研究中心
国家企业技术中心
国家分子束外延技术开发实验基地
国家专精特新“小巨人”企业
国家高新技术企业
国家级联盟协会
中国集成电路零部件创新联盟 -副理事长单位
中国集成电路检测与测试创新联盟-理事单位
中国通用机械工业协会真空设备分会-副理事长单位
中国真空学会 - 理事单位
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真空仪器设备&真空部件
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技术服务业务:
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干式真空泵
销售业务:
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技术服务业务:
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