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真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法把容器里的气体抽走、制造并维持低压环境的设备，核心任务是降低空间内的气体密度，从而满足工艺或实验需要。
真空泵是半导体行业芯片制造中用于维持洁净真空环境的核心设备，主要用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节，通过无油干式技术避免污染晶圆，保障芯片良率 。
杉本集团可供应的Kashiyama樫山工业株式会社是日本一家真空泵制造商，Kashiyama樫山工业的真空泵在半导体、液晶显示、新能源、化工、食品医药等领域应用较广，已被许多半导体和FPD产线作为标准真空设备之一。
Kashiyama樫山工业株式会社的核心产品是真空设备,其旗舰产品干式真空泵在日本市场份额排名第一。该公司在海外也享有盛誉，拥有国际领先的市场份额。
Kashiyama真空泵介绍
1
SD系列真空泵
特点
安全性高：符合SEMI/CE/NRTL各项标准的高可靠性设计。
工艺耐受性强：除独特形状的坚固螺杆外，通过新型塔式系统进一步强化工艺耐受性。
凭借特殊材料实现高耐腐蚀性和丰富的温差变化，可广泛适配多种工艺。
2
SDE系列真空泵
特点
采用特殊材料，具有高耐腐蚀性。
通过独特的螺纹形状实现节能。
多样款式，可以适配所有场景。
3
MU系列真空泵
特点
符合SEMI/CE/NRTL各项标准的高可靠性设计。
工艺耐性和节能性能进一步进化，适用于刻蚀等中型工艺。
4
LEH/LEM系列真空泵
LEH/LEM系列的水封式真空泵由圆形泵壳和叶轮组成，叶轮偏心安装在泵壳上。
结构图
特点
会排放易燃气体和腐蚀性气体。
机械密封用于轴密封，使维护变得容易。
非常适合用于排出含有水蒸气或水滴的气体。
运行安静，振动极小，排气持续不断，无脉动。
由于摩擦点少，不易发生故障，因此可以承受连续运行。
半导体被广泛应用于各种产品中。从智能手机、游戏机等日常用品，到电视机、洗衣机等家用电器，乃至汽车、火车等大型设备，半导体对我们的生活都不可或缺。
Kashiyama真空泵的用途
用于大型离心泵的启动。
用于造纸厂造纸过程中的脱水。
用于各种化工行业的脱水和干燥。
用于灭菌干燥和抽吸设备的真空源。
用于气动输送各种粉末和颗粒的真空源。
国际原材料波动下，工业胶带如何兼顾品质、交期与稳定供货？
