
近日,英特尔公开一项2022年提交的专利,披露集成Micro-LED的玻璃基IC封装方案,将Micro-LED光电特性与玻璃基板TGV(玻璃通孔)先进封装技术相结合,在芯片内部实现光电一体化集成,进一步夯实其玻璃基板赛道布局。
这项专利提出的封装结构,核心思路是把半导体裸片嵌入玻璃基板内部。玻璃基板中的TGV直接为裸片上的Micro-LED供电,再经由封装基板连接主板。方案里用的Micro-LED是纳米线结构,能自发出红、绿、蓝三种颜色的光,除DIY电子设备的个性化装饰之外,这些发光器件还可作为封装内部电性测试指示灯,甚至能直接在CPU表面呈现发光文字标识,兼顾芯片功能指示与外观设计价值。
整套制造工艺有着清晰的技术路径。首先用激光诱导加上化学蚀刻工艺,在玻璃基板上做通孔和放裸片的腔体,接着电镀填铜形成TGV互连通道,随后把集成MicroLED的裸片嵌进腔体,两边用氮化硅层粘聚合物封装基板,完成垂直方向的供电和信号互联。
专利同时设计多种结构变体,存在裸片横放、竖放的方案,并且还能装上反射镜来优化出光效果,以此满足不同封装形态的需求。这项Micro-LED封装专利不是单独的技术尝试,而是英特尔多年来玻璃基板战略的延伸。早在2013年,英特尔便启动玻璃基板替代传统有机基板的研发工作,持续积累相关专利;2023年,英特尔率先推出玻璃基板样品,拉开技术验证阶段序幕。进入2026年,玻璃基板商业化进程明显提速,多项关键工程验证接连落地。
今年1月,英特尔在NEPCONJapan展会上展示了厚玻璃芯+EMIB工程样片,成功做到78×77毫米大尺寸封装的无微裂纹切割,解决了大尺寸玻璃基板容易裂开的技术难题,6月举行的ECTC2026大会上,英特尔又进一步透露玻璃芯基板的量产级验证进展,把通孔制作、金属化处理、多层布线及光电融合等关键工艺环节都连接起来了。

在技术验证之外,英特尔同步搭建产业生态,联合上下游企业推进产业化。今年7月,蓝思科技全资子公司与英特尔签署合作备忘录,将TGV先进封装作为双方合作重点。合作模式当中的分工十分清晰,英特尔输出架构方案、DFM设计指南还有验证体系,而蓝思,负责玻璃穿孔成型、高精度激光加工、金属沉积以及多层互连布线。
长远来看,有机基板在大尺寸、多层布线、高温稳定性这些方面有本身的局限,玻璃基板因为低翘曲、高平整度、高频特性好等优点,被看成是AI时代高性能芯片封装的重要候选方案。
英特尔此次Micro-LED玻璃基封装专利,更是在单纯电学互连之外,探索封装内部光电融合的新方向,让先进封装不再只是单纯承载芯片的载体,还能集成发光、状态监测功能。
不过,从专利技术到大规模量产,还是得持续解决良率、成本、一致性这些工程方面的挑战,随着国内加工厂商和海外产线同步推进验证还有建厂,玻璃基板赛道的竞争正在变激烈,可能会重塑未来AI芯片、高性能处理器的底层封装形态。
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