芯片,可以说是人类现代工业智慧的巅峰产物。一块小小的芯片内部,可以集成上千万甚至上百亿个晶体管。无数芯片协同工作,才支撑起手机、电脑,乃至超级并行计算机的强大算力。
很多人好奇:这么多微型开关,是怎么被“安放”到一块小小的硅片上,并且正常工作的?
芯片整套制造流程晦涩难懂,我们先用一个生活化比喻帮大家建立概念。
制造芯片,有点像在同一块土地上建设一座精密的微型城市。 想象我们要建设一座10平方公里的城市,先浇筑一块完整的混凝土底板。在底板上印好城市规划地图,需要作为街道的区域做留白;之后用腐蚀液体处理板面,留白区域被腐蚀形成街道,被图层保护的部分保留下来变成建筑物。全部结构搭建完成,整座微型城市就此落成。
芯片制造的底层基础,离不开一套理论与两大核心技术:晶体管技术,以及光刻技术。
光刻技术脱胎于照相制版工艺,早期全球第一个大规模芯片工厂仙童半导体,创始人团队不少就有着照相器材行业背景。
晶体管,也被理解成固态版的二极管、三极管。早期的二极管、三极管属于真空器件,结构类似灯泡:内部有加热灯丝,需要抽取真空,依靠加热阴极发射电子实现导电,结构复杂,零件繁多。
而固态晶体管不需要真空腔体。仅仅依靠P型、N型两类半导体材料组合,就可以实现单向导电。这背后,便是解释导体、半导体、绝缘体差异的能带理论。
更妙的是:P型、N型,都可以用同一种原材料——硅来实现。 纯净的硅本身导电性很差,通过向硅里面掺入不同杂质,就能改变它的导电属性。掺入拥有5个价电子的磷,得到N型硅;掺入拥有3个价电子的硼,得到P型硅。 这也是集成电路能够落地的物理根基:同一片硅基底,通过掺杂改造,就能制造出各式各样的电子元器件。
完整的芯片制造,大致可以分为四大阶段。
一、锻造地基:制备高纯度单晶硅晶圆
芯片的源头,来自随处可见的二氧化硅,也就是沙子、水晶。 沙子和焦炭混合高温熔炼,碳夺走氧元素,生成二氧化碳挥发出去,得到粗硅;再经过多重化学提纯,得到纯度极高的多晶硅。
把多晶硅加热熔融,利用籽晶缓慢向上提拉,生长出一整根圆柱形单晶硅锭。再将硅锭切片、打磨抛光,就得到芯片生产最核心的基材——晶圆。
很多人会疑惑芯片明明是方形,为什么晶圆却是圆形。一方面是单晶提拉工艺天然产出圆柱硅锭;另一方面,晶圆直径做得越大,单片能够产出的芯片数量就越多,边角材料利用率更高,单颗芯片的成本就被摊薄。国内早已实现12英寸晶圆的成熟生产。
一块光亮的晶圆,就是芯片的“地基画布”。
二、光刻:把电路图案刻印在硅片上
地基准备好了,就要在晶圆表面雕刻出无数电子元件的轮廓,光刻就是这一步的核心。
首先在晶圆表面旋涂一层薄薄的光刻胶,这是一种光敏材料。 把设计完成的集成电路版图,通过光学系统投影照射到光刻胶表面。被光线照射到的光刻胶发生化学反应,变得容易被溶剂溶解;经过显影清洗,曝光部分被洗去,电路图案就从掩模版转移到光刻胶薄膜之上。
接下来进入刻蚀工序,没有光刻胶保护的区域会被腐蚀,在硅片上留下对应电路的凹槽轮廓。 不过此时,仅仅只是刻出外形,晶体管还不具备电气功能,无法工作。
整套光刻‑刻蚀流程,在芯片生产中要循环几十上百次,每一次都需要和上一层图形精准套刻对齐,这也是光刻机研发难度居高不下的重要原因。
三、离子注入与金属互连:赋予晶体管生命
二极管、晶体管的本质,就是P型半导体和N型半导体的组合。 想要在指定区域改变硅的导电类型,就要依靠离子注入工艺。 把磷、硼这类杂质元素电离,以高能粒子束的形式打入硅的特定区域,完成N区、P区的构建,一颗颗晶体管就此成型。
元器件造好之后,还需要搭建导线把千千万万晶体管互相连接,组成完整逻辑电路。工艺上会在晶圆表面沉积金属铜,形成互连导线。
至此,整片晶圆上布满了已经搭建完成的电路单元。
四、封装测试:筛选分级,给芯片穿上保护壳
晶圆制造完成不等于成品芯片。晶圆上面密布着亿万个微型器件,纳米尺度下生产很难做到零缺陷,总会出现部分单元损坏。
行业的解决方案并不是追求“每一颗芯片做到完美无瑕疵”,而是提前在芯片内部设计冗余单元。当部分晶体管出现缺陷,可以启用备用单元进行替补。制程越是微小,出现缺陷的概率越高,需要预留的冗余模块也就越多。
这也解释一个很有意思的现象:同一套晶圆产出的CPU,内部晶体管数量完全一样,最后却分出很多型号,售价差异巨大。 封装测试环节会逐颗检测芯片实际性能:缺陷少、功能完整的版本定为高端型号卖出高价;缺陷较多,屏蔽掉部分单元之后,作为中低端版本低价流入市场。不少玩家的“超频”玩法,本质就是尝试把被屏蔽的单元重新激活。
测试分选完成后,给裸芯片加上外壳保护、引出引脚,一颗可以直接使用的成品芯片才算真正诞生。
写在最后
看完整套流程,就能理解为什么半导体行业的从业者,会对晶圆、光刻工艺抱有浓厚兴趣。 我们平时很难有机会看到芯片内部真实的微观电路,而一片经过真实流片的光刻晶圆,就相当于一本看得见摸得着的半导体教科书。不同角度光线照射下,晶圆表面层层光刻形成的纹路泛出斑斓的色彩,光刻、薄膜沉积的痕迹全部直观呈现在眼前。
不少半导体爱好者、理工科朋友,会收藏一片光刻晶圆放在案头。闲暇时拿放大镜观察上面密密麻麻的电路阵列,切身感受这套人类顶尖制造工艺的魅力,也可以当作一份小众独特的科技摆件。
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