大数跨境

一块陶瓷加热器,凭什么值 7.5 亿? ——拆解珂玛科技的进与退

一块陶瓷加热器,凭什么值 7.5 亿? ——拆解珂玛科技的进与退 先进陶瓷材料产业链
2026-09-24
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导读:半导体设备腔体里有一类部件很少上宣传图:不发光、不运算,却决定一片晶圆能否被均匀加热、稳稳吸住。


半导体设备腔体里有一类部件很少上宣传图:不发光、不运算,却决定一片晶圆能否被均匀加热、稳稳吸住。陶瓷加热器、静电卡盘正是如此——长期由海外少数厂商主导,单价数十万至上百万元。苏州一家公司,正在这块最硬的骨头上持续加码。

2024 年 8 月登陆创业板的珂玛科技(301611.SZ),主业一句话说完:先进陶瓷材料零部件的研发制造,外加泛半导体设备表面处理服务。朴素,但它所在的环节恰恰是国产化最难替代、也最容易被"卡"的一段。

一、半年报里,两组方向相反的数字

8 月 19 日晚,珂玛科技披露 2026 年半年报:上半年营业收入 5.92 亿元,同比增长 13.80%;归母净利润 9824.70 万元,同比下降 42.83%。

收入在涨,利润在跌。拆开结构看,更清楚它在做什么:

  • 先进陶瓷材料零部件收入5.43 亿元(+13.82%)
  • — 其中半导体领域4.79 亿元(+9.47%)
  • — 半导体领域结构件3.06 亿元(+9.75%)
  • — "功能-结构"一体模块化产品1.72 亿元(+8.98%)
  • 半导体占先进陶瓷零部件比重88.09%

半导体是绝对基本盘。另一边,受周期调整影响,显示面板、LED、光伏客户放缓新增设备投资,相关结构件收入下降明显;新能源触底企稳后,粉体粉碎与分级产品订单稳步释放。

二、陶瓷加热器:从"02 专项"走到批量交付

真正的看点在陶瓷加热器。公司自 2016 年承接国家"02 专项"起布局,掌握氮化铝配方、特殊成型、多次高温烧结与复杂加工全流程工艺;2023 年末实现国产替代,解决了 CVD 设备关键零部件的"卡脖子"问题。

多款陶瓷加热器已装配于 SACVD、PECVD、LPCVD 和激光退火设备,大量应用于晶圆薄膜沉积工艺——不是送样验证,而是量产交付。

意义在于门槛:结构件可以靠精密加工切入,而"功能-结构"一体模块化产品,需要材料配方、热场设计、电极埋入与烧结变形控制同时过关。

三、静电卡盘:下一块要啃的骨头

陶瓷加热器已跑通,静电卡盘(ESC)处在破局前夜:不同型号分别处于小规模量产、客户验证及交付验证阶段,产业化进程国内领先;超高纯碳化硅套件也完成验证并开始小批量交付。

碳化硅是另一条支线。2025 年 7 月公司并购苏州铠欣,其一期工厂已于 2025 年末投产;12 英寸 ICP/CCP 刻蚀机用 CVD 碳化硅部件,多款已通过北方华创、中微公司验证,截至 6 月末小批量出货。

四、7.5 亿可转债,钱花在了哪

2026 年 4 月,公司完成 7.5 亿元可转债发行并启动募投项目,投向很直白:

  • 结构功能模块化陶瓷部件扩建4.88 亿元
  • 半导体设备用碳化硅材料及部件0.52 亿元
  • 补充流动资金2.10 亿元

主项目落子苏州,达产后预计新增静电卡盘产能 2500 只/年、陶瓷加热器产能 600 只/年;安徽项目由子公司实施,组建碳化硅陶瓷结构件全流程工厂。同时依托苏州高新区新租定制厂房整合分散产能,为静电卡盘扩产。

客户名单同步变厚:国际主流设备厂商 A 公司,北方华创、中微、拓荆、上海微电子,以及国内主流晶圆厂。

五、利润下滑四成,值得担心吗

净利下滑要放进上下文看:一边是周期拖累与产品结构变化,一边是产能建设、折旧摊销与研发投入集中释放——2022 至 2025 年 9 月,研发投入占营收比例保持在 7% 以上。这不是"出问题"的公司,而是把钱换成了产能与验证进度。真正的风险是时间差:静电卡盘验证周期长、爬坡慢,能否对上国产设备的放量节奏,是未来两年最该盯的指标。

六、把视角拉回先进陶瓷

珂玛的路径是整个行业的缩影:从粉体、成型、烧结到精密加工、表面处理,全产业链自主可控的能力,决定了能站到什么位置。同一逻辑也正在陶瓷基板上演——氮化铝、氮化硅基板与 AMB 覆铜板,沿着"材料—工艺—验证—量产"的同一条曲线向上爬。

赛道变宽,玩家变多,问题也从"能不能做"变成"能否稳定、低成本、大规模地做"。这恰是最需要坐下来聊聊的时刻。

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