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选购半导体产线药液在线浓度计,很多工程师都会纠结分体式与一体化机型该如何取舍。
二者没有绝对好坏,适配工况完全不同。
今天拆解两种方案优劣势,并且以:仓纺 Pro‑2(KIS 系列)一体化机型为例顺带梳理 Pro‑2+、Ace‑3、RD‑20 +,讲解一体化主机适合哪些项目。
IWASE
在半导体、液晶面板制造工序当中
循环药液浓度管控是稳定生产良率的
关键一环。
越来越多工厂选用近红外光学在线浓度计,对清洗液、蚀刻药液进行不间断监测。
但是选型阶段常会遇到一个经典难题⚠️:
在线浓度计,
到底选分体式还是一体化主机?
两种设备结构没有绝对优劣,只是适配的现场安装条件、后期维护需求各不相同。
下面客观对比两种方案差异,再来看仓纺 ChemicAlyzer‑Pro‑2(KIS 系列)一体化机型的产品定位。
一、什么是分体式 / 一体化一体机?
分体式机型:检测流通池(测量头)与数据处理主机,为两套独立部件。依靠信号线缆连接,检测单元可就近装在药液管路,主机放置在较远的机柜。
一体化机型(一体机):测量检测单元 + 数据处理、显示单元集成在同一台主机箱体内部,药液取样管路直接接入主机。
仓纺 Pro‑2 (KIS 系列) 就属于这一类。
二、分体式 VS 一体化一体机,优劣势对比
✅ 分体式方案
优势
检测探头体积小巧,可以安装在空间极度狭窄、主机放不下的现场管路位置;
主机与测量点距离较远时,布线灵活;
后期如果检测池出现损耗,可单独更换探头,无需挪动主控机柜。
短板
设备由两个部件组成,整体占用的安装空间更大;
现场多出一组信号连接线,布线点位增加;
两套部件需要分别规划安装位置,新建项目前期安装规划工作量更高。
适合场景:设备腔体内部狭小、测量点位和控制柜距离很远、定制化集成项目。
✅一体化机型(主力款‑Pro‑2,KIS 系列)
优势
结构紧凑,节省洁净室机柜空间
Pro‑2 对比仓纺以往分体老款机型,将测量部和数据处理单元整合,整机尺寸 W201 × D340 × H198mm,整机重量约 11kg。单台设备即可完成全部检测运算,无需额外布置独立的测量头。
检修维护更省心,接口前置集中布局
所有接线连接器全部集中布置在设备正面。工程师排查故障、插拔线路的时候,不需要移动整机,检修操作仅从正面就可完成,非常适合洁净室内机柜安装场景。
自带向下兼容性,老产线改造可原位互换
Pro‑2 保留了和仓纺前代老款一体机的互换性。如果你的产线原先使用过仓纺旧版在线浓度计,升级时选用 Pro‑2,原有管路、电气线路改动量很少,大幅降低改造停工时间与改造成本。
操作简单,上手门槛低
面板按键经过精简优化,产线操作人员查看实时浓度、基础参数设置更加便捷
短板
主机需要就近布置在药液取样管路附近,测量点位和机柜距离过远时,取样管路会加长;
主机和检测单元集成一体,无法单独拆分探头安装到超狭小腔体。
适合场景:新建药液循环槽项目、旧仓纺设备原位替换改造、控制柜空间紧凑、希望简化现场布线的产线。
三、在线浓度计产品|Pro‑2+ / Ace‑3 / RD‑20+
除了主力标准款 Pro‑2 之外,仓纺一体化在线机型还有 3 个衍生型号,面向不同工况需求。
1、Pro‑2+(KIS‑P 系列)|改造升级优选款
定位:专为旧设备更换、既有产线加装配套设计
KURABO仓纺 Pro‑2+(KIS‑P 系列)
规格: 一体式
尺寸: W270 × D340 × H257mm
重量: 约 16kg
供电: 100‑220V 100W
核心特性:
1. 导入时最大限度抑制配管、配线改造工作量
2. 搭载独立的数据处理功能,可实现长时间连续在线测量
推荐:原有产线改造,对长时间连续监测有更高要求,可选 Pro‑2+
2、Ace‑3(KIS‑A 系列)|高性能旗舰机型
定位:仓纺产品线内最高性能的在线监测主机
KURABO仓纺 Ace‑3(KIS‑A 系列)
规格: 一体式
尺寸: W250 × D330 × H282mm
重量: 约 15kg
供电: DC24V 100W
核心特性:
1. 光学单元恒温控制,保障检测结果稳定性
2. 内置药液温度控制器,实现高精度测量
3. 可支持最多 4 种混合药液,选配后最高可测 8 种药液
4. 与 AceⅡ 等前代高性能机型具备互换性
推荐:多组分混合药液、高精度高阶制程项目优先选用 Ace‑3
3、RD‑20 + 系列 (RD‑10/20/30)|超紧凑型嵌入式机型
定位:精度不变,机身大幅缩小,面向设备集成场景
KURABO仓纺 RD‑20 + 系列 (RD‑10/20/30)
规格:一体式
尺寸:W176 × D288 × H176mm
重量:约 6kg
供电:DC24V 30W
核心特性:
1. 无风扇密闭构造,防尘耐环境性能优秀,适配洁净环境
2.小巧机身,可直接嵌入清洗设备内部,适合设备原厂集成配套
推荐:设备制造商、安装空间极其有限的集成项目
四、选型判断推荐
(1)选 Pro‑2(标准主力)
新建药液循环槽;
取样管路与机柜距离不远;
旧款仓纺一体机原位替换;
追求均衡性价比;
(2)优先选 Pro‑2+
-
老产线改造项目; -
需要长时间不间断连续在线监测;
(3)优先选 Ace‑3(高性能款)
多组分混合药液监测;
高阶制程,对测量精度、长期稳定性要求高
(4)优先选 RD‑20+(紧凑型)
设备内部嵌入安装;
机柜空间十分紧张;
设备原厂集成配套;
▫️Pro‑2 (KIS 系列) 基础规格回顾
KURABO仓纺 Pro‑2 (KIS 系列)
规格: 一体式
尺寸: W201 × D340 × H198 [mm]
重量:约 11kg
使用环境:半导体制造工厂洁净室或同等环境,环境温度 20‑30℃(无结露)
供电: AC100‑220V 80W
选型提示:近红外光学检测方案,药液需要具备透光性;含氢氟酸 HF 工况,接液池需选择蓝宝石配置。
👉若您正在为半导体产线筛选药液在线监测设备、准备项目采购询价,可提交药液种类、安装条件、项目进度等信息,我们将为您提供工况评估以及正式报价。
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