SK海力士拟两年内新增20台ASML EUV光刻机
9月24日消息，据韩媒报道，SK海力士计划在未来两年内新购置约20台ASML的EUV光刻系统。
目前SK海力士已拥有约20台用于研发和生产的EUV设备，此次扩产意味着其EUV设备保有量将在两年内翻倍。
EUV光刻机单价在3000亿至5000亿韩元之间，全球仅荷兰ASML能够供应。按此估算，SK海力士此次设备投资总额将不低于6万亿韩元。
新设备将陆续部署于清州M15X工厂和利川M16工厂。其中，M15X工厂预计于今年底投产，并率先配置EUV设备；M16工厂则将根据工艺转换路线图逐步引入。
业内人士透露，SK海力士正考虑提前启动新的EUV生产线，并与ASML紧密协商，以加快设备交付进度。
加速布局先进制程，满足HBM需求增长
在内存领域，SK海力士自2021年实现1a nm DRAM商业化以来，已广泛应用EUV工艺，并随技术迭代持续扩大使用规模。
受AI发展推动，企业级高性能存储尤其是HBM（高带宽内存）需求激增，促使SK海力士加大先进DRAM产能投入，进一步提升EUV设备覆盖率。
此前，SK海力士已在韩国利川M16生产基地引进业界首台量产型High-NA EUV光刻机——ASML TWINSCAN EXE:5200B，标志着其在尖端制程上的领先地位。