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深圳平湖实验室研制8英寸4°倾角4H-SiC上高质量GaN外延

深圳平湖实验室研制8英寸4°倾角4H-SiC上高质量GaN外延 中国电子材料行业协会
2025-08-11
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近日,深圳平湖实验室在GaN/SiC集成领域取得突破性进展,在国际上首次研制了商用8英寸4°倾角4H-SiC衬底上的高质量AlGaN/GaN异质结构外延。
该成果打破了大尺寸GaN与SiC材料单片集成的技术瓶颈,为GaN/SiC混合器件的发展及其产业化进程奠定基础,可批量应用于大尺寸、高质量GaN外延材料的制备,为现有硅基GaN技术路线提供了一种极具竞争力的替代方案。

这项重大进展将为宽禁带半导体在新能源汽车、消费电子、人工智能等领域的规模化应用提供重要技术支撑。

碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)作为第三代半导体的代表,凭借高禁带宽度、高击穿场强、高电子饱和速度和高热导率等优异特性,特别适合制造高频、高功率、耐高温、抗辐照器件,广泛应用于新能源车、消费电子、光伏、电网等领域。


基于同质外延的4H-SiC器件具有低缺陷、高耐压、抗雪崩优势,但面临低沟道迁移率和栅氧可靠性挑战。GaN HEMT拥有高开关频率和高沟道迁移率,但受限于Si基异质外延的高缺陷密度和横向结构,在高可靠性、高耐压及抗雪崩应用上竞争力不足。如何整合两者特性、实现优势互补是产业界和学术界的重大探索方向。

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