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洁净室用的真空吸尘设备分为移动式真空吸尘器和集中式真空吸尘系统。在能满足清扫要求的情况下，宜优先采用移动式真空吸尘器。
1.根据洁净室面积选用
洁净室面积<1000m2者宜用移动式真空吸尘器。<500m2选两台，每增加500m2增加一台。
洁净室面积>l000m2时，也可采用集中式真空吸尘系统。
2.移动式真空吸尘器注意事项
当选用移动式真空吸尘器时，必须选用带预过滤器和高效过滤器的设备。
3. 集中式真空吸尘系注意事项
3.1 集中式真空吸尘泵应尽量靠近负荷中心。因真空吸尘泵噪声较大，应尽量安装在具有吸声性能的房间内。真空吸尘泵应有隔振措施，吸人端应装集尘器，排出端应装消声器。经消声后排出口的噪声值应符合所在地区的噪声标准，如无具体要求，可按不大于80～85dB (A)考虑。
3.2 集中式真空吸尘系统的管道宜采用无缝钢管，焊接连接，暗装敷设。弯头的曲率半径应为4～6倍的管径，弯头的煨弯不应出现折皱。三通夹角宜为30o，最大不超过45o。四通应采用两个错开的斜三通作法。水平吸尘管道的坡度宜为0.001～0.003，坡向立管或集尘点。
4.其他注意事项
4.1 吸尘嘴的型式应根据被清扫对象的情况确定。每个吸尘嘴(直径为40mm)的吸风量宜取140～150m3/h。
4.2 每个洁净室内的吸尘口数量，除按室内被清扫面积进行计算外，尚应根据吸尘软管的作用半径确定，作用半径一般可按不大于12m考虑，以便洁净室各点都能清扫到。
4.3 真空吸尘系统管道内的风速按下表选用。
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关于中国电子学会洁净技术分会
中国电子学会洁净技术分会（CCCS）是倡导污染控制的非赢利性学术团体，成立于1982年。1983年创办学会期刊《洁净与空调技术》，是学术性季刊。学会工作内容是： 通过国内外技术交流、主办学术论坛与会展、办好"洁净技术"刊物、开展项目咨询与培训。
中国科学技术协会学会学术部，科协学发【2003】120号文批准：中国电子学会开展中国电子信息技术资格认证试点工作。中国电子学会【2004】学会总发字007号文批准：中国电子学会洁净技术分会开展 “ 中国洁净室工程师 ” 资格认证试点工作。
2017年，学会发起建立“中国(国际）洁净室贸易平台”，线上为会员提供产品展示与供需撮合服务，线下为行业企业提供人才培训、工程咨询、检测诊断、运维保养等信息资源。
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