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技术交流| 洁净室基础知识与管理(下)

技术交流| 洁净室基础知识与管理(下) Cleanroom
2019-07-25
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导读:打卡技术交流每天进步不止

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本文接上篇,见下:

风淋室(Airshower)

风淋室设于无尘室入口处,具有以下功能:

人员管制;AIR LOCK 气锁功能,防止交叉污染;风速20-25m/s吹落尘埃带走功能,用以吹除人体衣服上及设备、物料、工具的尘埃。


注:正确使用风淋室,能够减少带入室内的灰尘。正确听从风淋室播音员的指示进行操作,能够去除95%的1μ以上的灰尘。

传递箱 (PASS BOX)

置于洁净室隔间墙上之装置功能:

做为洁净室内外物品传递之缓冲区,其可防止传递物品时由于门的开启而破坏了洁净室气流与室压;

可减少作业人员走动的时间而防止外区尘埃的进入;

进出口具有不可同时开启的联锁控制,以达到防止交叉污染。


洁净室及洁净区洁净度等级


洁净室的管理四大原则:


不将灰尘带入


不让灰尘产生

正确穿着洁净服:


正确使用风淋室之进入洁净室


使用风淋室注意事项


正确使用风淋室之走出洁净室流程


洁净室禁止携带物品举例

洁净室禁止带入易发尘物品、数码产品、食品、个人物品、未清洁物品及工具等。


洁净室专用物品举例

洁净室必须使用专用物品:


不让灰尘堆积-洁净室 (Clean Room)的清扫

以A⇒B⇒C⇒D⇒E的顺序、从上往下进行清扫。

清扫区域要点图:


A :楼承板及天花板上梁清扫:

用无尘布清理灰尘;

用纯水无尘布清扫房梁、吊顶螺栓、手够不到的地方用拖把用纯水擦拭一次以上。

要点:将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗,在梁上不要残留下痕迹。

B:楼承板及天花板上设备机器清扫

保护膜全部撕掉、用无尘布清理掉积尘;

用纯水无尘布清扫配管、管路、线缆桥架等。手够不到的地方用拖把用纯水至少擦拭一次以上。

要点是将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗,在配管等上面不要残留下痕迹。

C:楼承板及天花板清扫

收拾垃圾、用拖把拖、楼承板及天花板上用纯水擦拭;将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗:在天花板上面不要残留下痕迹。

D:楼承板及天花板下设备机器清扫

保护膜全部去除、有电气机器接触的部分用干无尘布擦拭。其他配管、管路、桥架等用纯水擦拭清扫

E:地板清扫

操作顺序是先撕掉保护膜、收拾垃圾、用清扫机收拾垃圾、用无尘拖把清洁;用纯水擦拭来进行地板清扫(强力的污渍用喷雾剂)和干燥。

柱子、阀门用水擦拭;墙壁的铝蜂巢板用擦拭的方法进行清洁。生产盘由设置的业者负责任的进行干擦拭清扫。

注意:务必将作业区域跟清扫区域区分开来。

清扫事例

①从上往下清洁;

②从里往外清洁;

③朝一个方向清洁。


洁净室清洁工具及清洁产品

洁净室必须使用专用清洁工具及清洁产品:


迅速排出灰尘


洁净室内的注意事项

1.洁净室内禁止跑动,走路时禁止脱防静电鞋。

2.禁止闲聊、吵闹,大声叫人。

3.个人用品(手机,手表等)及食物禁止搬入洁净室内。

4.搬入资材及易耗品等生产物品时必须通过风淋合格箱进行洗洁作业后再搬入。

5.化妆或涂指甲油的人禁止出入。

6.防静电帽,防静电服外露出头发、眼眉,一般服装不正确时立即到更衣室(Smock Room)检查着装之后再次通过风淋室(Air Shower)后入室。

7.防静电手套及手指套被破损或受污染时立即更换新的使用。

8.作业时Clean Room帽(防静电帽),防静电服及防静电鞋破损或受污染时通知组长交换新的使用。

9.开始作业时、终了时,休息时间过后要用滚筒架清扫作业台及周边。

10.作业台上禁止放置不必要的物品。

11.禁止坐着转动椅子或向后摆动。

12.禁止靠在装备、墙、作业台等。

13.禁止坐在地板上。

14.禁止用手套触摸皮肤。

15.交换器及电源等电装置要注意触电。

16.完成作业之后整理、整顿作业台、工具等。

某光电厂房洁净室管理

洁净室进退流程:


人员训练与资格考核

凡需进入无尘室工作人员,无论本公司或公司外部人士(除外宾、客户、VIP等),何人员皆需经洁净室训练或资格考核及格,方可进出无尘室。

人员需经资格考核及格后,无尘室管制室方可发放无尘衣。

外部人员进入无尘室之申请

外部人员进入无尘室,由相关单位代为提出「无尘室申请单」。

施工厂商可由警卫室申请「临时工作证」或由相关单位代为申请「长期工作证」。

进入更衣室与洗尘之管制

管制室应做到监控人、事、物之进出需合乎规定。

不可化妆,包含口红、粉底、指甲油、眼影、香水。

个人应保持良好卫生习惯,每日洗澡、刮胡子和定期洗头,经常洗手保持手部指甲清洁。

不可携带私人物品,如香烟、打火机、食物饮料、化妆品、手镯、耳环、戒指。

除无尘室专用文具外,严禁携入铅笔、自来水笔、橡皮擦、蜡笔与一般纸张等。

棉质、纸盒、木材等易产生粉尘材料的物品禁止携入无尘室 。

吸烟30分钟后方可进入无尘室。

施工厂商需有专人陪同方可进入无尘室。

更衣步骤:


安全卫生之管制

无尘室内发现生产环境异状(不明之声音、烟蒂、溶剂及味道)应迅速反应至组长或相关人员、主管。

毒气外露警报声响时,应迅速呼叫同仁由安全门撤离,并应迅速反应至组长或相关人员、主管。

严禁切、削、钻等工程,如有必要需先做防尘措施与施工区域隔离措施。

如遇紧急状况,依公安单位规定之逃生路线,以最快速度离开无尘室。

紧急逃生时可不脱去无尘衣物 。

紧急状况消除后,静候通知进入无尘室,并更换干净之无尘衣物。

纪律管理

Class10,000区人员至Class100,000区作业后,若需重回Class10,000区者需经AIR SHOWER吹送后方可重回Class10,000区;而穿著Class100,000区无尘衣人员绝对禁止至Class10,000区。

不得坐于地板上,并严禁仅贴机台、墙壁、工作桌。

面对Cassette或机台时禁止讲话、较大之肢体动作,并严禁快速走动或追逐(警急警报响时除外),保持慢速走动 。

除新人训练、公事交接外,应避免两人以上交谈。

Cassette或Tray不可置于地面,除Cassette待清洗区外。

禁止勾肩搭背、触摸其它人员或两人同坐一张无尘椅 。

无尘室内绝对禁止拍照录像,如有必要需经厂长同意 。

除非符合要求人员,否则严禁操作任何机台。

物品、器具、化学品之管制

应避免乱流产生与在机台区气流之上方等处放置物品或执行其它作业 。

化学药品应置于化学柜内。

化学药品应有明确之中英文标示。

使用过无尘布、无尘纸一律置于垃圾桶内。

无尘室门之管制

随手关门,无尘室之信道门应随时保持紧闭。

禁止用推车顶门。

门有损坏时应立刻通知处理。

电线、插座、蛇管之管制

机台之管线应用束线带束紧,固定于墙角或不妨碍通行之角落。

不使用胶带固定电线于地上或墙上。

使用插座时应确定所使用工具之电压与插座电压是否相同。

无论任何电线均不可用脚踩踏。

文件资料之管制

O/I需置于指定位置,不可任意放置,使用后需立即归回原位 。

O/I内容不可径自书写、涂改或做其它记号 。

携入无尘室之影印资料,需放入透明文夹内,打印资料应用喷墨打印机打印。

双孔或三孔打孔机禁止放置在生产区使用。

标示标语之管制

不得任意撰写标语张贴。

张贴标示时应依规定格式,并经制造主管同意。

消火箱灭火器之管制。

灭火器附近走道应保持畅通。

灭火器位置应按规定放置并有清楚之标示牌。

离开无尘室之管制

除紧急逃生外必须由Gowing Room路径离开。

人员进入更衣室后,脱去手套、口罩、网帽,并依规定垃圾桶丢弃。

脱无尘鞋,将无尘鞋置于自己鞋柜中。

脱无尘衣,将无尘衣置于自己衣架上(先脱上半身再脱下半身)。

无尘衣挂上衣架后确实将拉链拉至领口,以防无尘衣滑落。

小型器具物品可随人员办登记后携出无尘室。

大型器具物品需有两组人员内外接应,人员则按离开无尘室手续离开。

设备保养之管制

执行保养前应要求机台LOAD/UNLOAD净空。

所有零件器具不可置于地上,大型器具对象应以塑料布垫妥再置于地上。

无尘衣物清洗与更新之管制

各区无尘衣物清洗每周一次。

原则上避免施工人员自备无尘衣物,统一由公司提供。

无尘衣物管理单位应将发放给予公司同仁之无尘衣物加以编号管理。

无尘衣磨/破损严重或修补超过三次应予以丢弃。

稽核改善与奖惩

品保单位应定期检测无尘室环境状况并追踪改善情形。

制造单位或相关单位应全力配合品保单位之稽核行动,不可刁难或拒绝配合。

注:本文图片资料全部来源于互联网,不代表本公众号观点。如果侵犯了原作者的权利请与作者联系删除

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关于中国电子学会洁净技术分会

中国电子学会洁净技术分会(CCCS)是倡导污染控制的非赢利性学术团体,成立于1982年。1983年创办学会期刊《洁净与空调技术》,是学术性季刊。学会工作内容是: 通过国内外技术交流、主办学术论坛与会展、办好"洁净技术"刊物、开展项目咨询与培训。

中国科学技术协会学会学术部,科协学发【2003】120号文批准:中国电子学会开展中国电子信息技术资格认证试点工作。中国电子学会【2004】学会总发字007号文批准:中国电子学会洁净技术分会开展 “ 中国洁净室工程师 ” 资格认证试点工作。

2017年,学会发起建立“中国(国际)洁净室贸易平台”,线上为会员提供产品展示与供需撮合服务,线下为行业企业提供人才培训、工程咨询、检测诊断、运维保养等信息资源。


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