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技术交流|洁净室空吹的前提条件和空吹流程

技术交流|洁净室空吹的前提条件和空吹流程 Cleanroom
2020-05-25
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目录


一、空吹前,无尘室需要具备的条件
二、FFU、MAU空吹流程


一、空吹前,无尘室需要具备的条件


1、无尘室吊顶上方所有管线一次清洁已经完成




2、无尘室库板、门窗安装完成,风淋室、传递窗安装完成并处于关闭状态




3、余压阀安装完成




4、MAU安装、配管、动力、控制安装完成,完成单机试运转




5、FFU安装、动力、控制(控制可稍晚)安装完成,完成单机试运转




6、盲板安装完成



二、FFU、MAU空吹流程




1、FFU、MAU新风段、侧回风百叶覆盖初效无纺布








2、MAU开启空吹,保持室内正压,将洁净门全部开启,此阶段处理大颗粒








3、MAU空吹的同时,进行深度保洁








4、MAU定期更换无纺布








5、FFU开启空吹,定期更换FFU、侧回风百叶上的初效无纺布,关闭洁净门,此阶段过滤中颗粒








6、MAU安装亚高效(高效)过滤器,测试MAU系统风量








7、FFU安装HEPA,HEPA检漏,风速测试,洁净度测试





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END


 

关于中国电子学会洁净技术分会


中国电子学会洁净技术分会(CCCS)是倡导污染控制的非赢利性学术团体,成立于1982年。1983年创办学会期刊《洁净与空调技术》,是学术性季刊。学会工作内容是: 通过国内外技术交流、主办学术论坛与会展、办好"洁净技术"刊物、开展项目咨询与培训。

中国科学技术协会学会学术部,科协学发【2003】120号文批准:中国电子学会开展中国电子信息技术资格认证试点工作。中国电子学会【2004】学会总发字007号文批准:中国电子学会洁净技术分会开展 “ 中国洁净室工程师 ” 资格认证试点工作。

2017年,学会发起建立“中国(国际)洁净室贸易平台,线上为会员提供产品展示与供需撮合服务,线下为行业企业提供人才培训、工程咨询、检测诊断、运维保养等信息资源。

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