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附录｜GB/T 13554-2020《高效空气过滤器》
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附录｜GB/T 13554-2020《高效空气过滤器》

附录｜GB/T 13554-2020《高效空气过滤器》 Cleanroom
2020-05-14
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GB/T 13554-2020
高效空气过滤器


附录A
(资料性附录)
高效空气过滤器常用规格型号

A.1本附录给出了常见的过滤器规格尺寸及一般应用环境下的参考额定风量。
A.2部分应用行业规定过滤器使用面风速为0.45m/s,则使用风量可根据面风速及过滤器截面尺寸进行计算。
A.3有隔板过滤器常用规格见表 A.1。

表A.1有隔板过滤器常用规格表

A.4无隔板过滤器常用规格见表 A.2。

表A.2无隔板过滤器常用规格表


附录B
(规范性附录)
高效空气过滤器扫描检漏试验方法

B.1计数扫描法

B.1.1试验装置

B.1.1.1过滤器计数扫描法检漏试验台示意图见图B.1。

图B.1计数扫描法检漏试验台示意图

B.1.1.2试验台密封性、风量稳定性、上游采样截面风速不均匀性、浓度均匀性指标应符合GB/T 6165的相关规定。

B.1.2试验气溶胶

B.1.2.1试验方可根据实际需要选择液态油性气溶胶(如DEHS、PaO、石蜡油等)或固态气溶胶(如经充分干燥的PSL、NaCl.KCl气溶胶等)进行试验。试验气溶胶应无毒无害,符合环保及职业卫生规定。

B.1.2.2当 试验气溶胶及测试计数器分挡符合GB/T 6165的相关规定时,可通过扫描过程中过滤器下游累积计数计算受试过滤器的整体过滤效率。

B.1.2.3试验气溶胶稳定性应满足30 min内所试验粒径挡总粒子浓度波动不大于10% 的要求。

B.1.2.4试验过程中，试验气溶胶计数浓度应不大于1X107粒每立方厘米。

B.1.3试验仪器

B.1.3.1检漏试验可根据试验气溶胶的单分散特性选择凝结核计数器或光学粒子计数器进行。所使用仪器均应定期进行标定校准,标定周期及标定方法应符合国家相关标准及检定规程的规定。

B.1.3.2当使用光学粒子计数器进行检漏试验时,不应选择计数器的最小粒径挡进行试验。

B.1.3.3当需要根据检漏试验结果计算受试过滤器整体过滤效率时,粒径挡的选择应符合GB/T6165的相关规定。

B.1.4扫描系统

B.1.4.1扫描检测方式

过滤器生产商可以选择自动扫描机构,也可以选择人工手动扫描的方式进行过滤器扫描检漏试验。当需要根据扫描检漏试验结果计算受试过滤器整体过滤效率以及对超高效空气过滤器进行扫描检漏试验时,应采用自动扫描检测方式。

B.1.4.2下游采样探头

B.1.4.2.1采样探头的开口面积应为 8 cm2~10 cm2 ,形状宜为正方形。当采用矩形探头时,边长之比应不超过15: 1。选取探头的采样流量时,应保证探头开口处流速与过滤器面风速相差不大于25%。

B.1.4.2.2探头开口方向 应平行于气流方向,探头距过滤器出风表面距离应为1 cm~5 cm。

B.1.4.3气溶胶输送管

气溶胶输送管沿途不应有死弯。管路材料应表面光滑,不应散发粒子。

B.1.4.4 扫描探头驱动控制

B.1.4.4.1扫描探头应以垂直于气流的方向匀速移动,探头的移动速度应不超过8cm/s。

B.1.4.4.2自动扫描机构的探头实际行走速度与设定值的偏离不应超过10%。自动扫描机构应可以对探头移动过程中的坐标及探测到的漏点进行定位和标记,探头机构在过滤器下游断面任-一点的回位.准确度宜不大于1 mm。

B.1.5隔离措施

受试过滤器的下游应与周围环境的污浊空气隔离,可在受试过滤器周边采用洁净空气作为保护壳气,或用围挡等作为隔离措施。

B.1.6试验步骤

B.1.6.1将受试过滤器安装于试验台上并确保密封。启动试验台风机，调整试验风量至受试过滤器额定风量。

B.1.6.2在受试过滤器上游气溶胶发生器未开启时,检查所使用光学粒子计数器是否可自净清零。

B.1.6.3在受试过滤器的上游引入试验气溶胶,在确认.上游气溶胶浓度稳定后进行上游气溶胶浓度Cu的测试。

B.1.6.4根据所使用的光学粒子计数器扫描探头的宽度,按式(B.1)确定扫描速度上限:

表B.1过滤器局部透过率允许限值

B.1.6.5手动或通过自动扫描机构驱动扫描探头以不超过扫描速度上限的速度对被测过滤器出风面及过滤器与安装框架连接处进行扫描检测。若上游试验气溶胶浓度足够大,使得Np不小于20粒时,扫描过程中任何导致计数器产生不小于Np的区域将被判定为漏点。当Np小于20粒时,扫描过程中任何导致计数器产生不小于Np的区域将被标记为“疑似漏点”,应将扫描探头固定放置于疑似漏点处一定时间(如不少于20 s)进行定点检漏试验。定点检漏过程漏点判定的计数器期望读数、定点试验时间以及实际观测上限值应分别按式(B.2)和式(B.3)确定:

B.2光度计扫描法

B.2.1试验装置
适用于光度计扫描法的试验装置应符合B.1.1 的规定。

B.2.2试验气溶胶
试验气溶胶应为一个或多个拉斯金(Laskin)喷嘴所发生的油性气溶胶物质(如PAO、DEHS等)。Laskin喷嘴工作压力应为133 kPa,所发生气溶胶的质量中值直径应为0.7 μm,几何标准差不应大于1.80。

B.2.3试验步骤
B.2.3.1将受试过滤器安装于试验台上并确保密封。启动试验台风机，调整试验风量至受试过滤器额定风量。
B.2.3.2启动气溶胶发生器,调整发生器喷嘴工作数量等参数,调整上游气溶胶浓度至10 mg/m3~20 mg/m3 ,使用气溶胶光度计测量上游浓度,并将其设定为光度计满量程。
B.2.3.3使光度计吸人洁净无尘空气，设定零点。
B.2.3.4将光度计切换至下游采样,使用扫描探头在距受试过滤器出风侧表面1 cm~5 cm处进行扫描检漏试验。
B.2.3.5扫描过程中,正方形扫描探头的扫描速度应不大于5 cm/s,矩形扫描探头的面积扫描速度应不大于15.5 cm2/s。
B.2.3.6除试验双方另有约定外，局部透过率超过0.01%的区域判定为渗漏缺陷。

B.3检测报告
检测报告的内容应至少包括以下内容:
a)受试过滤器信息 :规格型号、级别、出厂编号或其他唯-性标识、尺寸、额定风量;
b)试验气溶胶名称;
c)试验仪器:规格型号、出厂编号或其他唯一性标识;
d)采样探头:探头形状及尺寸、探头移动速度等;
e)试验条件:试验空气的温度及相对湿度;
f).上游气溶胶浓度及局部渗漏缺陷判定限值;
g)试验结果是否合格的综合判定结论;
h)过滤器修补情况说明。


附录C
(资料性附录)
高效空气过滤器其他检漏试验方法

C.1烟缕试验

C.1.1将过滤器水平放在风口上,四周密封,用气溶胶发生器发生质量平均直径为0.3 μm~1.0 μm、质量浓度宜为1.5 g/m3的气溶胶烟雾。使含气溶胶的气流以1.3 cm/s的速度向上流过被试过滤器。

C.1.2 用灯光垂直照射过滤器出风面,过滤器四周及观察背景是黑暗的，且屏蔽掉过滤器周围的干扰气流。

C.1.3观察出风面，若出现烟缕则判定有渗漏,看不到烟缕则判定无渗漏。

C.2双风量效率试验
C.2.1对于圆简型、W型等不适宜进行扫描检漏试验的特殊形状过滤器，可采用双风量效率试验判断过滤器是否存在局部渗漏缺陷。
C.2.2将受试过滤 器安装于符合GB/T 6165规定的试验台上,按GB/T 6165的规定分别进行100%额定风量及20%额定风量下的过滤效率试验。
C.2.3若受试过滤器在20%额定风量与100%额定风量下的透过率之比小于0.1,则判定受试过滤器.存在局部渗漏缺陷。

附录D
(规范性附录)
高效空气过滤器消静电试验方法

D.1试验原理
本附录规定了采用异丙醇饱和蒸气对滤料荷电的过滤器进行静电消除处理的试验装置和试验方法。

D.2消静电材料
D.2.1采用异丙醇饱和蒸气对滤料所附加静电荷进行消除和中和处理。
D.2.2使 用纯度不低于99.5%的异丙醇溶液在静电消除柜内自然挥发,产生异丙醇饱和蒸气。

D.3静电消除柜
D.3.1静电消除柜应采用不锈钢或镀锌钢板制作。
D.3.2静电消除柜包含 1个过滤器舱、1个或2个异丙醇托盘存放舱,每个舱室应设独立的门。过滤器舱与异丙醇托盘存放舱间之应有气流通道,以方便空气与异丙醇饱和蒸气在整个静电消除柜空间内保持均衡。
D.3.3 静电消除柜的过滤器舱应可安装最大尺寸为610 mmX610 mmX292 mm的过滤器,过滤器不应接触静电消除柜的内表面。
D.3.4静 电消除柜内异丙醇托盘总自由蒸发面积应不小于1.0 m2
D.3.5为了防止异丙醇饱和蒸气泄漏对人员和环境造成影响，静电消除柜气密性应满足如下条件:在+200 Pa压力下,静电消除柜1 min内压力的衰减应不大于30 Pa。

D.4试验条件
D.4.1静电消除柜所在房间温度应控制在(25±5)°C,相对湿度应控制在(40±20)%。
D.4.2过滤器恒重气象条件及试验用空气的温度应控制在(23±5)°C,相对湿度应控制在(45±10)%。

D.5试验方法
D.5.1受试空气过滤 器在试验空气中应至少放置30 min, 而后称重,精确至1 g。按GB/T 6165规定的方法测试未消静电时初始状态的过滤效率和阻力,效率试验方法应与过滤器标称的出厂效率试验方法一致。
D.5.2向异丙醇托盘注入浓度不低于99.5%的异丙醇溶液,并对每个托盘进行称重,精确至1 g。D.5.3将装有异丙醇溶液的托盘放于静电消除柜内,关闭柜门并等待30min。
D.5.4打开 静电消除柜过滤器舱舱门,迅速放人受试空气过滤器,然后关紧柜门。
D.5.5开 始消静电试验,将受试过滤器暴露于异丙醇饱和蒸气和空气混合气体中24 h。试验期间应每隔1h记录房间内的温湿度。
D.5.6达到 消静电时间后,打开柜门并迅速取出受试过滤器,然后关紧柜门;取出异丙醇托盘并进行称重,以确定异丙醇溶液蒸发量。
D.5.7将受试过滤 器在试验空气中平衡至少30 min,并进行称重,按GB/T 6165规定的方法测试过滤效率和阻力,效率试验方法应与过滤器标称的出厂效率试验方法一致;用干燥洁净空气空吹受试空气过滤器10 min后,再次测试过滤效率。两次过滤效率尾数差异大于5时,应再次重复D.5.2~D.5.6进行24 h消静电试验,直至2次过滤效率尾数差异小于5。
D.5.8若出现以下情况,应采用新的过滤器重新进行消静电试验:
a) 消静电前后,受试过滤器质量改变超过±1%或超过±20 g;
b)消静电前后,受试过滤 器阻力改变超过±10%或超过10 Pa。

D.6试验报告

试验报告中应至少包括下列消静电试验条件以及试验数据信息:

a)消静电试验过程中的室内温度、相对湿度;

b)异丙醇溶液纯度;

c)消静电试验的时间;

d)静电消除柜基本信息,包括照片和示意图,示意图应包含主要尺寸、容积、异丙醇托盘数量和尺寸、蒸发面积、异丙醇溶液添加量;

e)消静电试验前后,受试过滤器的质量及异丙醇溶液的蒸发量;

f)消静电试验前后,受试过滤器在额定风量下的阻力;

g)消静电试验前后,受试过滤器在额定风量下的效率。


附录F
(资料性附录)
高效空气过滤元件生命周期综合能效试验方法

E.1试验原理
本附录针对滤料和过滤器,通过发生高浓度、粒径分布特征尽可能接近实际的固体气溶胶,采用实验手段模拟加速过滤元件在实际使用过程中的积尘过程,通过监测积尘过程中的效率及阻力变化,对被测样品在实际使用过程中的综合能效表现进行预估。
本附录所规定试验方法仅用于对规定试验条件下的过滤元件生命周期综合能效进行评价。

E.2过滤材料试验方法

E.2.1试验装置
E.2.1.1试验装 置符合GB/T 6165的相关规定。
E.2.1.2用于 试验样品容尘过程称重的天平分度值至少为0.000 1 g。

E.2.2试验尘源

采用干燥后的固体KCl、NaCl粉尘或粒径分布等性能满足本标准要求的粉尘作为试验尘源。试验粉尘充分干燥,必要时进行电荷中和处理。试验粉尘计数中值直径(计数峰值粒径)处于75 nm~125 nm范围内，几何标准偏差不大于1.90。试验过程中的试验粉尘质量浓度保持在10 mg/m3 ~20mg/m3范围内。

E.2.3试验方法

E.2.3.1试验样品
试验样品无折痕、褶皱、孔洞或其他异常。试验样品的最小尺寸为200 mmX200 mm,试验尺寸为.100cm2。所有试验样品均有下述清晰且持久性的标记:
a)试验样品的唯一性标识;
b)试验样品的上游面。

E.2.3.2试验滤速
试验滤速根据所制作过滤器的实际滤速选择,宜为2.50cm/s或5.33cm/s。

E.2.3.3试验终阻力
除试验双方另有约定外,对于初始状态下阻力不大于150 Pa的滤料,试验终阻力为300 Pa;对于初始状态下阻力为150 Pa~250 Pa的滤料,试验终阻力为500 Pa。

E.2.3.4试验步骤
试验步骤如下:
a) 将试验样品在试验空气温、湿度条件下恒重后称量,精确至0.000 1 g。
b)测量试验样品初始状态下的阻力及效率,试验方法符合GB/T 6165的相关规定。
c)维持喷雾器压力及空气流量恒定,保持稳定的发尘浓度发生试验粉尘。
d)间 隔固定时间测试试验样品的效率、阻力以及质量。其中,效率及阻力的测试符合GB/T 6165的相关规定,质量测试精确至0.0001g。当试验粉尘质量浓度为10mg/m3时,采样时间间隔不大于20min;当试验粉尘质量浓度为20mg/m3时,采样时间间隔不大于10min。重复此操作直至滤料试验终阻力。试验样品的阻力-容尘量和效率-容尘量曲线至少为5个均匀分布数据点所构成的平滑曲线。
e)喷雾发尘至滤料试验终阻力时,测量试验样品的效率、阻力以及质量,此时试验样品总的增重即为试验容尘量。

E.2.4试验结果.
E.2.4.1试验报告至少包括如下信息:
a) 试验样品级别、样品尺寸及试验区域尺寸、编号。
b) 试验风速、试验空气温、湿度。
c)试验气溶胶的种类和试验浓度。
d)初始状态下的阻力、效率和质量。
e)试验过程时间、容尘量。
f)试验过程中试验样品所呈现的最低过滤效率。
E.2.4.2试验报告给出试验过程中试验样品的阻力和效率随容尘量变化的关系曲线。
E.2.4.3阻力-容尘量曲线和综合平均阻力按式(E.1)和式(E.2)进行拟合和计算:

E.2.4.4效率-容尘 量曲线和综合平均效率按式(E.3)和式(E.4)进行拟合和计算:


E.3 过滤器试验方法

E.3. 1试验装置
E.3.1.1试验装置符合 GB/T 6165的相关规定。
E.3.1.2用于试验样 品容尘过程称重的天平分度值至少为0.1 g。

E.3.2试验尘源
采用干燥后的固体KCl粉尘或粒径分布等性能满足本标准要求的粉尘作为试验尘源。试验粉尘充分干燥,必要时进行电荷中和处理。试验粉尘计数中值直径(计数峰值粒径)处于75 nm~125 nm范围内,几何标准偏差不大于1.90。试验过程中的试验粉尘质量浓度保持在5 mg/m3~15 mg/m3范围内。

E.3.3试验方法

E.3.3.1试验样品
试验样品表面完好,不存在目测可见的污损及破损;有清晰的标志,且符合9.1的规定。

E.3.3.2试验风量
试验样品在其标称额定风量下进行试验。

E.3.3.3试验终阻力
对于初始状态下阻力小于80 Pa的过滤器,试验终阻力为160 Pa;对于初始状态下阻力为80 Pa~150Pa的过滤器,试验终阻力为300Pa;对于初始状态下阻力为150Pa~250Pa的过滤器,试验终阻力为500 Pa。

E.3.3.4试验步骤
试验步骤如下:
a)将试验样品在试验空气温湿度条件下恒重后称量,精确至0.1 g。
b)测量试验样品初始状态下的阻力及效率,试验方法符合GB/T6165的相关规定。
c)维持喷雾器压力及空气流量恒定,保持稳定的发尘浓度发生试验粉尘。
d)间隔固定时间测试试验样品的效率、阻力以及质量。其中,效率及阻力的测试符合GB/T6165的相关规定,质量测试精确至0.1g。采样时间间隔不大于60 min。重复此操作直至过滤器试验终阻力。试验样品的阻力容尘量和效率-容尘量曲线至少为5个均匀分布数据点所构成的平滑曲线。
e)喷雾发尘至过滤器试验终阻力时,测量被测样品的阻力效率以及质量,此时被测样品总的增重即为试验容尘量。

E.3.4试验结果及评价
E.3.4.1试验报告至少包括以下内容:
a) 被测样品级别、样品尺寸、额定风量及唯一性编号;
b) 试验风量、试验空气温、湿度;
c)试验气溶胶的种类和试验浓度;
d)初始状态下的阻力、效率和质量;
e)试验过程中时间、容尘量和试验终阻力;
f)试验过程中试验样品所呈现的最低过滤效率。
E.3.4.2试验报告给出试验过程中被测样品的阻力以及效率随容尘量变化的关系曲线。
E.3.4.3阻力容尘量曲线和综合 平均阻力按式(E.1)和式(E.2)进行拟合和计算,效率-容尘量曲线和综合平均效率按式(E.3)和式(E.4)进行拟合和计算。其中,用于计算平均阻力的规定容尘量(Mx)为50 g。

标准正文｜GB/T 13554-2020《高效空气过滤器》请点击查看

END


 

关于中国电子学会洁净技术分会


中国电子学会洁净技术分会（CCCS）是倡导污染控制的非赢利性学术团体，成立于1982年。1983年创办学会期刊《洁净与空调技术》，是学术性季刊。学会工作内容是： 通过国内外技术交流、主办学术论坛与会展、办好"洁净技术"刊物、开展项目咨询与培训。

中国科学技术协会学会学术部，科协学发【2003】120号文批准：中国电子学会开展中国电子信息技术资格认证试点工作。中国电子学会【2004】学会总发字007号文批准：中国电子学会洁净技术分会开展 “ 中国洁净室工程师 ” 资格认证试点工作。
2017年，学会发起建立“中国(国际）洁净室贸易平台”，线上为会员提供产品展示与供需撮合服务，线下为行业企业提供人才培训、工程咨询、检测诊断、运维保养等信息资源。
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