近日，第十四届半导体设备及核心部件展（CSEAC 2026）圆满落幕。作为国内极具影响力的半导体装备专业交流平台，本届展会汇聚了产业链千余家优质企业，集中展示了行业前沿技术与国产化创新方案。
展会期间，主办方围绕技术创新、国产替代、产业化价值等核心维度，举办了高规格的半导体设备核心部件创新大赛。中国航天科技集团有限公司八院航天裕达系列残余气体分析质谱仪（RGA）凭借领先的核心技术、完善的产品体系及成熟的落地应用，从众多参赛企业中脱颖而出，一举斩获“CSEAC 2026产品创新一等奖”。此次获奖不仅是对航天裕达技术创新实力与产品性能的高度认可，更是对其深耕半导体领域攻坚成果的有力肯定。
在展会同期举办的CSEAC 2026新产品新技术发布会上，航天裕达作为特邀企业，重磅发布了全系列国产化残余气体分析质谱仪（RGA）。此次发布进一步补齐了国产真空检测设备的产品矩阵，为半导体设备核心环节提供了强有力的国产化支撑，引发了现场观众与行业专家的高度关注与广泛好评。
残余气体分析质谱仪（RGA）作为半导体制程的核心关键装备，被誉为集成电路制造的“嗅觉神经”。它能够实现真空腔体气体组分的实时监测与微量污染物溯源，直接关乎工艺薄膜质量与晶圆生产良率。
展会期间，航天裕达还同步展示了多用途真空装备等多元化产品，全面展现了公司从单台精密检测设备到成套真空系统解决方案的全链条研发与交付能力。公司技术团队与现场观众进行了深度的技术对接与产品推介，有效链接了行业资源，进一步提升了企业的行业影响力与品牌认可度。
