CSEAC 展商风采︱浙江启尔机电技术有限公司

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观众在 8月25日 前完成观展报名，即可享受免费参观展览与开放论坛，并额外获得专属抽奖资格：

一等奖：HUAWEI Mate X7

二等奖：磁吸快充移动电源

三等奖：精美手持电扇

*抽奖环节全程公开透明，中奖结果于展会现场公示，获奖观众需到场核验身份领取奖品。

展 商 风 采

浙江启尔机电技术有限公司

ZHEJIANG CHEER TECHNOLOGY CO.,LTD

Booth：B1-243

公司简介：浙江启尔机电技术有限公司成立于2013年，前身为浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室的科研团队，是一家投身半导体制造装备事业的国家高新技术企业。公司聚焦半导体超洁净流控系统及零部件研发，团队历经近二十余年持续的基础研究和技术攻关，已获得相关发明专利100余项。现有员工300余人，建有办公区域12400平方米、制造车间11100平方米，其中百、千、万各级洁净间总计近4000平方米，形成相关产品批量生产能力。

主要产品名称：液体纯化系统(LPS)

产品应用领域：集成电路

产品特点：液体纯化系统专为半导体制造设施中的超纯水进一步过滤与抛光设计，旨在满足先进制程对水质极高的要求。

技术指标：极低TOC（ppb）、极低溶氧（ppb）、极低离子（ppt）、精密控温（0.1℃）、精密控压（5kpa）。

主要产品名称：BP系列波纹管泵（风囊泵）

产品应用领域：集成电路

产品特点：风囊泵风囊泵具有无污染、耐腐蚀、易装调、高可靠性等突出优势，广泛应用于半导体湿法制程、化工制药、光伏电子等对介质纯净度和输送可靠性要求极高的领域。

技术指标：高耐温（介质180℃）、高流输出（Max 100LPM）、双气源、高纯无污染。

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