CSEAC 展商风采︱苏州矽视科技有限公司

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观众在 8月25日 前完成观展报名，即可享受免费参观展览与开放论坛，并额外获得专属抽奖资格：

一等奖：HUAWEI Mate X7

二等奖：磁吸快充移动电源

三等奖：精美手持电扇

*抽奖环节全程公开透明，中奖结果于展会现场公示，获奖观众需到场核验身份领取奖品。

展 商 风 采

苏州矽视科技有限公司

SiScan Technology Co. Ltd.

Booth：A3-133

公司简介：苏州矽视科技有限公司 2021 年 6 月落户于美丽的苏州，企业专注于高端半导体晶圆量检测设备的研发、生产和服务，致力于自主研发具有完全自主知识产权、满足行业需求的国产电子束成像量检测设备。团队由全球顶尖专家领衔，汇聚各路精英，全方位覆盖电子束量检测核心技术，以创新为核心，市场为导向，制定科学的产品战略和技术路线。矽视科技经过多年不懈努力，凭借自主核心技术和强大的研发能力，两款产品已经成功推向市场，产品在工艺性能与设备性能等方面获得客户的高度认可。12 寸高端工艺的设备也已取得重大突破，即将在市场上崭露头角，为公司发展注入了新的动力。

主要产品名称：CD-SEM（关键尺寸量测设备）：主要针对6/8/12寸晶圆，适用于28nm及以上成熟工艺及三代半材料。

产品应用领域：集成电路

产品特点：高压高能、深层穿透、三维量测、原位观察

技术指标：12/8/6寸 CD-SEM（关键尺寸量测设备） 

电子束能量（LE） 200ev ~ 2000ev 成像与测量参数 

1.最高分辨率：1.6~2 nm 

2.测量范围：28 nm ~ 5 μm 

3.测量精度： 3σ＜0.3nm or ＜1% 

4.产率：35–45 WPH 

主要产品名称：EBI（电子束缺陷检测设备）：针对先进工艺的图形晶圆缺陷检测，具备电性缺陷检测能力。

产品应用领域：集成电路

技术指标：12寸 EBI（电子束缺陷检测设备） 

1.电子束能量（LE）：200ev ~ 3000ev 

2.最高分辨率：＜3 nm 

3.采样频率：400 MHz 

4.工作模式：D2D / C2C / Hybrid@SS / CS

用途：用于先进工艺的图形晶圆的缺陷检测，尤其适用于高宽深比结构底部的形貌和材料缺陷，表面层以下的连通性相关的电性缺陷的检测。

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