CSEAC 展商风采︱江苏神州半导体科技股份有限公司

✦

△ 请扫上方二维码，进入报名页面 △

观众在 8月25日 前完成观展报名，即可享受免费参观展览与开放论坛，并额外获得专属抽奖资格：

一等奖：HUAWEI Mate X7

二等奖：磁吸快充移动电源

三等奖：精美手持电扇

*抽奖环节全程公开透明，中奖结果于展会现场公示，获奖观众需到场核验身份领取奖品。

展 商 风 采

江苏神州半导体科技股份有限公司

JIANGSU SHENZHOU SEMICONDUCTOR TECH CO.,LTD.

Booth：B1-233

公司简介：江苏神州半导体科技股份有限公司是一家以中国为基地、面向全球的半导体高端设备公司,神州为集成电路和泛半导体行业以及医疗行业提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务,产品及服务应用于半导体刻蚀设备和化学薄膜设备,离子注入设备,物理气相沉积设备,医疗磁控系统等高科技工业领域。 在神州创新激情、齐心奋斗和合作共赢的精神指引下,神州科技已经在新品研发,技术创新、产品优化和市场准入方面取得了重大突破,赢得了众多客户和供应厂商的信任与支持,成为国际射频及磁控设备产业的重要力量。

主要产品名称：静电吸盘电源

产品应用领域：集成电路

产品特点：ESC电源（Evan-1508K-B）是一款应用于静电卡盘（E-chuck）的工艺电源，能够适应双极工艺应用。具备输出控制多功能性，输出可通过EtherCat通讯或控制盒的控件进行控制。具有集成度高、可以四个通道均可单独开启、相对于单通道成本更低的优点。该ESC电源提供静电卡盘工艺测试所需的控制电源，实时监测静电卡盘的负载电流。

技术指标：输入电压：AC208V 输出电流：100mA 输出电压：±1500V（HV1、HV2、HV3、HV4独立设置） Ramp功能：电压可斜率增加，斜率值可设（1-2000V/S） 输出电压极性翻转：具备（HV1、HV2、HV3、HV4） 控制方式：Ethercat通信 互锁信号：DB9 Pin1,2 干接点信号 供电接口：HARTING Han Q 5／0-M-C 公插头 放电模式：双通道放电模式 输出电压接口：每一对输出搭配MHV(公)、SHV(母)接头 输出/输入 隔离：>500Mohm 使用环境：0 to 45° C，10-90% 相对湿度，无凝结 储存温度：0 to +70° C 精度（HV1、HV2、HV3、HV4）：电压额定值 ±0.5%（>100V）、电压额定值 ±1%（≤100V）；电流±50uA

主要产品名称：Central-1008L

产品应用领域：集成电路

产品特点：产品对标MKS-Paragon，性能方面与此产品一致，尺寸上做到可以平替，设备软件上独立开发，面板显示二级界面可实时观察电流与电压及其他设备，后台带有报警信息记录。

技术指标：三相AC208V输入电压：208V±10% 50/60Hz 最大AC输入电流：35A 最大输出功率：10KW 制程气体：AR、N2、O2、NF3、H2 点火气体：AR 点火压力：1-8Torr 最大制程气体流量（NF3）：8SLM 输出频率：360~420Khz 离化率：＞95% 最大进水温度：30° 远程控制：Analog，Etcher cat。

点此查看更多产品详情