距离开幕还剩 52 天
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第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC 2026）将于2026年8月31日至9月2日，在无锡太湖国际博览中心举办。7万平方，八馆联动1300+展商，涵盖晶圆制造、封装测试、核心部件、材料等领域。CSEAC汇聚国内外知名企业，同期活动丰富，更完整呈现半导体行业动态，更及时把握当下行业趋势，更好应对未来的挑战与机遇！
诚邀行业同仁莅临盛会，携手见证这场年度性中国半导体盛宴！
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CSEAC 2026
展 商 风 采
安徽益科斯自动化设备有限公司
AnHui EcoSys Automation Solutions Co., LtdBooth：A6-633
公司简介：安徽益科斯自动化设备有限公司成立于2017年5月18日，注册地安徽芜湖，注册资金1000万是一家为泛半导体客户提供附属设备与腔体全方位解决方案的高新技术企业。 EcoSys尾气处理产品涵盖现代半导体晶圆厂的所有工艺模块和工艺类型，对各种气体种类(包括PFC和温室气体)的减排效率均超过99%。产品系列包括Marathon、Guardian、CDO和Vector,拥有全套不同的减排技术,为客户提供最佳的尾气处理解决方案。 EcoSys腔体解决方案包括腔体核心零部件产品的维修、保养、翻新和国产化服务，以及真空系统的监控、仿真、计算、设计和改造，为客户提高产品良率与设备稼动率提供技术保障。
主要产品名称：等离子水洗式尾气处理设备M91A
产品应用领域：集成电路
技术指标：等离子体分解：通过高能等离子体 torch 破坏高稳定性污染物分子，无需燃料 / 氢气，绿色环保 水洗中和：内置水洗腔体，对酸性 / 碱性气体进行高效中和吸收，达标排放 自清洁设计：具备反冲清洁机构，减少维护频次，降低运维成本 模块化结构：便于安装、维护与扩展，适配不同制程设备接口需求
用途：处理对象：酸性 / 碱性废气（HCl、HF、NH₃等）、PFCs（全氟化合物）、有毒腐蚀性气体、部分 VOCs。 核心功能：等离子体 torch 分解高稳定性污染物，水洗中和吸收酸碱气体，实现 “点对点” 净化，减少厂务管道负荷与泄漏风险。 合规与安全：满足 SEMI S2/S26 等安全规范及地方环保排放限值，降低长距离输送的安全隐患
技术指标：处理容量 标准处理量:600 slm(标准升/分钟) 适用气体类型:AsH3，BCI3，B2H6，BF3，CF4等半导体工艺废气
用途：处理酸性 / 碱性废气（HCl、HF、NH₃等），中和达标排放。 分解 PFCs、VOCs 等难处理废气，满足环保限值与厂界安全要求
*报名活动最终解释权归CSEAC组委会所有
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