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领先国外 3 年!全球首条 6/8 英寸氧化镓在杭州量产

领先国外 3 年!全球首条 6/8 英寸氧化镓在杭州量产 微电子制造
2026-07-07
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杭州镓仁半导体有限公司近日宣布,基于自研铸造法单晶生长与MOCVD外延工艺,建成全球首条6/8英寸氧化镓同质外延量产线,向头部芯片客户批量供货。


氧化镓被认为是第四代半导体的重要代表材料,具有超宽禁带、高击穿电场等优势,在新能源汽车、智能电网、光伏储能、轨道交通、AI算力中心、商业航天及国防等领域拥有广阔应用前景。


在晶体生长方面,公司自主研发全球首创的铸造法长晶技术,可稳定生长超厚氧化镓单晶,并结合自主超薄衬底加工工艺,使单块晶体的衬底出片量提升至原来的3至4倍。同时,该工艺大幅降低了贵金属铱的使用量,使衬底制造成本下降80%以上。


在外延制造方面,镓仁半导体针对6英寸(100)面氧化镓衬底开发了专用MOCVD外延工艺,成为全球首家实现6英寸氧化镓同质外延商业化供货的企业。其生产的同质外延片外延层厚度超过10微米,膜厚均匀性优异,厚度方差控制在1%以内。


目前,公司已获得多家海外企业及科研机构订单,部分合作客户已开展长期稳定采购。



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