近日，苏州工业园区科技招商中心引进企业——苏州益科思晶体技术有限公司在高光学质量大尺寸CLBO（硼酸铯锂）晶体研发方面取得重大成果，成功生长出接近国内外最大尺寸145mmx145mmx128mm深紫外非线性光学CLBO晶体。
硼酸铯锂（CsLiB6O10，简称CLBO）具有优异的紫外/深紫外非线性特性，其综合性能十分优良，能够实现对Nd:YAG激光的二倍频、三倍频、四倍频和五倍频输出的相位匹配及和频产生193nm激光输出，是全球高功率深紫外固态激光变频领域不可替代的标杆型战略晶体，是衡量一国激光与非线性光学晶体综合研发实力的标志性产品，具有极高的战略价值。
目前全球晶圆厂在用的DUV光刻产线必须搭配晶圆缺陷检测机，高重频、大功率深紫外激光器是先进制程晶圆缺陷检测设备的核心部件，其核心光源采用CLBO晶体作为核心变频元件，实现266nm、210nm、193nm大功率激光输出，具有波长短、分辨率高、衍射效应好等优点，在半导体晶圆检测中可准确检测微观缺陷，承担整条光刻产线良率管控的重要职能。
苏州益科思晶体技术有限公司
苏州益科思晶体技术有限公司是一家由国家重大人才引进工程入选者携手国内外优秀晶体专家成立的新兴晶体材料研发与生产企业，团队拥有晶体材料制备全链条专业背景和丰富的从业经验，专业覆盖长晶设备设计与制造、长晶工艺、晶体加工与材料检测，公司专注于高温超导、可控核聚变、半导体及光通信领域的关键晶体材料研发与产业化。公司第一大股东苏州智材科技有限公司为我国第二代高温超导靶材的技术领导者，是国内唯一、全球唯三的掌握第二代高温超导靶材完整解决方案的专业供应商。
来源：益科思