新员报道 | 先进半导体测试技术系统集成引领者——易捷测试技术

国内领先的半导体测试系统集成解决方案提供商 —— 深圳市易捷测试技术有限公司正式加入深圳市微纳制造产业促进会，欢迎公司与各会员单位及产业链上下游企业深化交流、携手合作，共促微纳制造产业高质量发展。

公司简介

深圳市易捷测试技术有限公司是一家专注于半导体测试解决方案的高新技术企业，作为MPI探针台中国区核心代理商，公司在高端测试领域深耕多年，积累了丰富的行业经验与技术实力。公司始终致力于为客户提供从研发到量产的全周期测试服务，业务覆盖半导体晶圆测试、射频毫米波器件表征、硅光子集成芯片测试、量子计算芯片测试、脑机接口芯片测试、新能源器件检测等多个前沿领域，形成了完整的产品矩阵与服务体系。

在探针台系统方面，公司的全自动、半自动、手动探针台、双面硅光探针台、单DIE探针台系列，采用先进的专利技术，全面解决了射频毫米波、硅光子、大功率器件、光学传感器、CPO光电共封装、AI芯片、GPU等通信、视觉成像、功率器件、高算力芯片的测试需求。

凭借专业的技术团队与完善的服务布局，易捷测试已成功服务众多顶尖高校、科研院所及行业龙头企业，建立了良好的市场口碑与合作关系。未来，深圳市易捷测试技术有限公司将继续秉承技术创新、客户至上的理念，紧跟半导体产业发展趋势，不断拓展高端测试技术的应用边界，为中国半导体产业的自主可控与高质量发展贡献力量。

核心业务板块

易捷测试专注于半导体晶圆级测试系统、失效分析设备、封装级测试设备领域，提供全方位的解决方案：

探针台系统：涵盖手动、半自动、全自动探针台，支持高低温测试、磁场测试、真空环境测试等多种应用场景，可满足晶圆级、DIE级、PCB射频等不同测试需求。产品广泛应用于WAT/CP测试、I-V/C-V测试、RF/mmW测试、光电、光学传感、高压大电流测试等领域。

半导体测试系统：自主研发半导体测试软件，提供射频微波毫米波测量系统、硅光晶圆测试系统、光学传感器测试系统、异构芯片测试系统等解决方案。近年来，公司在人工智能芯片测试、量子计算测试、脑机接口芯片测试等前沿领域已有成功交付项目，并持续深入。

可靠性测试解决方案：提供ESD/CDM/TLP静电测试系统、覆盖HBM/MM/Latch-up/CDM/TLP/VF-TLP等多种测试模型，为车规级电子器件、家电芯片等产品的抗静电可靠性检测提供专业保障。半导体可靠性测试系统覆盖WLR测试（HCI/NBTI/PBTI/TDDB/EM），载片老化测试等。

• 太赫兹频段应用的晶圆级测试系统

TS200-THz+110GHz Tuner的200mm太赫兹晶圆测试系统，以及TS600/TS800-PCB专业大型PCB毫米波信号完整性测试设计专用探针台。

• 终极实验室自动化解决方案

通过组合两个WaferWallet/Max系统，实现晶圆在测试单元间的自动转移，最大化测试吞吐量，并支持多工艺节点晶圆的无缝兼容与跨平台协同。

• TS2000-IFE+250GHz探针组合是面向下一代高速通信、AI通信及光子集成技术的高端测试解决方案。DC-250G全频段测试能力，满足6G、1.6Tb/3.2Tb高速通信需求。

• TS3000-DS/TS3500-DS 单/双面测试探针台为应对光通信带宽瓶颈带来的测试挑战。

TS3000-DS：半自动双面硅光探针台（研发 / 小批量）

定位：半自动12 英寸（300mm）探针台，主打硅光芯片（PIC）研发与小批量验证。

核心能力

• 双面测试（DS=Double Side）：支持上下双面光学耦合与电学探针，专测插入损耗、偏振损耗（PDL）。

• 兼容：12 英寸晶圆、光电子 / RF 器件、CIS/SPAD 晶圆。

• 温控：可选-60℃~300℃高低温卡盘。

• 适用：实验室研发、器件表征、工艺验证。

TS3500-DS：全自动多模态探针台（量产 / 全形态）

定位：全自动12 英寸探针台，多模态、全形态、量产级，覆盖晶圆 / 条形 / 裸芯 / 封装。

核心能力

• 全自动：WaferWallet 自动传片、无人值守、Mapping 量产测试。

• 双面探测：硅光 / CPO / 光模块高低温、电光联合测试。

• 高精度：0.5μm定位、支持 RF/mmW、SPAD/CIS/ 硅光全参数。

• 适用：大规模量产、WAT/CP、AI/GPU/ 硅光产线

• CIS/SPAD 晶圆级测试系统
  

• 测试对象：CIS、SPAD、ToF、LiDAR、ALS、红外 / 可见光传感器 晶圆（Wafer Level）
• 适用阶段：芯片研发表征、工艺监控、晶圆良率测试、可靠性筛选
• 标准：符合 EMVA 1288 图像传感器测试标准

• 高均匀积分球光源

• 光谱：400nm ~ 1700nm（可见光～近红外 SWIR）
• 均匀性：>98% @ 50mm×50mm
• 稳定性：<0.2% 漂移 / 10 小时光强动态范围：140dB
  

• 晶圆探针台

• 兼容：10mm ~ 200mm（8 英寸） 晶圆
• 半自动 / 全自动探针卡适配
  

• 超低噪声温控卡盘
• 温度：-60°C ~ 180°C
• 低噪声设计，适合暗电流、噪声、QE精密测量

• 量子效率 QE / 光谱响应 SR
• 暗电流 Dark Current、DCNU 非均匀性
• 灵敏度、动态范围、线性误差
• 系统增益、饱和容量、PRNU
• 满阱电荷、读出噪声、SNR

• 光子探测效率 PDE（光谱）
• 暗计数率 DCR、后脉冲概率
• 死时间、时间抖动 Jitter
• 击穿电压 Vbr、温度特性

• 集成两大模块

• 精密温控：稳定结温，支持温度归一化分析
• 光源溯源校准：满足工业与科研计量级精度

• 知名企业：华为、阿里巴巴、中芯国际、三安光电、浙江铖昌、傲科光电等
• 科研院所：东南大学、电子科技大学、北京大学、南京大学、中科院各研究所等
• 产业客户：常州承芯、华芯微、无锡集成等半导体制造企业