【特地对接2170】揭榜挂帅项目：面向光纤镀膜的高稳定微波等离子体源研制

一、项目名称

面向光纤镀膜的高稳定微波等离子体源研制

二、技术需求内容

微波等离子体光纤镀膜是利用微波激发等离子体实现光纤表面功能涂层沉积的关键工艺，对等离子体的稳定性和能量利用效率要求极高。企业在面向光纤镀膜的微波等离子体源研制过程中，主要面临两大技术难题：

（1）现有微波发生器在长时间运行过程中存在频率漂移和功率波动较大，导致等离子体状态不稳定，严重影响光纤镀膜的均匀性与重复性；

（2）等离子体在起辉和运行过程中阻抗动态变化，导致微波反射功率大、能量利用率低，而当前系统缺乏快速响应的自动调配机制，无法实时跟踪等离子体负载变化，严重影响镀膜效率和质量。为解决上述难题，需求研制采用自注入锁定技术的高稳定微波发生装置，实现微波功率稳定度≤±0.3%、频谱宽度≤0.8MHz，输出微波功率 6kW、频率范围 2450±10MHz；同时设计三销钉自动调配器，实现调配时间小于 1500 毫秒，驻波调节范围覆盖 VSWR≤10。

三、经费投入计划

☑财政资助100万元；☑自筹200万元

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电话：0411-81760919

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