8家企业携创新成果相聚张江|6.30电子气体成果路演会预告！

2026 年电子气体成为半导体热门赛道。AI 算力带动先进存储、制程产能扩张，三氟化氮、高纯氯化氢等核心特气需求大涨，供需趋紧、价格上行；叠加国家新政放宽产业限制，本土电子特气迎来发展良机。

立足产业变革与国产替代关键阶段，第八届浦东新区集成电路技能大赛开设电子气体创新赛道，集聚产业链、科研及资本资源，展示技术成果、对接供需与投资，助力产业高质量发展。

6 月 30 号赛事将重磅开启私密路演专场活动，共促产业升级。

本次私密路演仅限产业内人士、专业机构投资人参加，可观摩创新成果路演与评审全过程，零距离接触电子气体全产业链前沿技术、创新工艺与落地方案，精准对接合作需求。

2026 年 6 月 30 日 14:00-17:00

上海张江（报名审核后发具体地址，拒绝空降）

13:30—14:00  嘉宾签到入场

14:00—14:10  路演整体概况介绍

14:10—17:00  项目路演 + 评委交流问答

温馨提示：本场为私密路演专场，活动全程实行信息保密管理，现场不对外公开。

创新成果：

基于MEMS的半导体级气体质量流量控制器研发

企业简介：

青岛芯笙微纳电子科技有限公司，孵化自山东大学电子系，公司通过自主研发和产学研合作，研发出高端气体流量计、压力控制器、薄膜真空计、气体浓度计等多项卡脖子技术产品，并成功用于先进制程、以及各类范半导体领域，所开发MEMS+压电比例阀型流量计响应时间≤65ms（全球最高水平）。公司荣获山东省专精特新、青岛市新经济潜力企业、国家高新技术企业等荣誉。

创新成果：

先进制程UHP电子气体输送管道

企业简介：

上海品宙洁净科技有限公司是国内领先的UHP等级电子气体输送管道核心制造商，产品品质全面超越SEMI标准，并已向多个12英寸FAB以及头部电子气体公司超大规模供货。公司是此领域国产替代的核心力量。

创新成果：

高端 MFC 气体质量流量控制器国产化

企业简介：

爱拓利创立于2012年，是一家质量流量计和控制器专业研发制造商，专注于微小气体流量精准测控。爱拓利拥有完全自主知识产权的质量流量计和控制器产品，其核心部件毛细管柱式流量传感器、层流差压式流量传感器、高精度微型比例阀等已实现100%自主研制，核心生产设备100%自主研制、全制程自主可控。

创新成果：

超高纯硅基电子材料制备关键技术及应用

企业简介：

洛阳中硅高科技有限公司是中国五矿集团旗下国家高新技术企业和国资委第二批启航企业，拥有2个国家级、5个省级平台，承担国家项目31项，获授权专利283项，制定国际、国家和行业标准95项，获国家科技进步二等奖等40多项省部级以上荣誉。在集成电路用超高纯多晶硅、硅基电子特气、硅基前驱体材料及功能性材料方面自主研发创新，成功实现了二十余种关键材料产业化，致力于成为世界一流高端基础材料发展商。

创新成果：

半导体气体痕量水精准检测关键技术

企业简介：

上海华爱色谱分析技术有限公司成立于2004年，是国家级专精特新“小巨人”企业、上海市高新技术企业。公司长期专注于痕量气体分析领域，以气相色谱分析技术为核心，重点服务电子特气、高纯气体等半导体相关气体的质量控制与痕量杂质检测。公司是ISO/TC 158/WG1召集人单位，主导制定1项国际标准，参与制定1项国际标准及108项国家标准，拥有多项专利和科技成果，致力于推动半导体气体分析仪器的国产化、标准化和高端化发展。

创新成果：

电子级乙硅烷制备技术

企业简介：

安徽亚格盛电子新材料股份有限公司成立于2012年，位于安徽省芜湖市，是中国国家集成电路材料联盟会员企业，致力于为集成电路、化合物半导体、LED与光伏等领域提供高纯电子气体和电子化学品及服务。产业布局方面，公司经过多年发展已形成“三基地两中心”的战略布局：拥有芜湖、全椒、衢州三大生产基地，以及位于南京化学工业园区的专业研发中心和上海销售中心。

创新成果：

残余气体分析仪

企业简介：

爱柯锐（ACT）成立于2023年5月，注册于上海市闵行区大零号湾科创区，专注半导体真空系统核心零部件及相关产品的研发和生产。先后获得 “国家高新企业”“上海市专精特新中小企业”等荣誉，核心成员均来自高校、研究所及真空行业，拥有十年以上质谱研发经验，在射频电路、真空设计、质谱算法、软件开发等方面拥有成熟经验，具备跨领域技术整合能力。

创新成果：

高端氘代电子特气国产替代技术成果产业化项目

成果简介：

唐超教授团队依托26年研发经验，攻克了氘代氨、氘代甲硅烷、氘代乙硼烷等高端电子特气制备难题，其丰度达到国际化水（99.25%-99.67%），纯度正通过实验室中试设备攻关。高丰度、纯度＞99%的氘代产品已有客户复购记录。项目以创新的全合成技术配方和工艺路线，采用同位素结构的催化剂系统；设备通用，柔性应对多品种小批量，成本优化；供应链可靠。

本场路演为封闭式私密专场，实行身份审核制。有意向参会的产业伙伴、行业嘉宾，扫描下方二维码填写表单报名，审核通过后方可获得参会资格。工作人员将统一通知参会相关事宜。

第八届浦东新区集成电路技能大赛是浦东新区全国引领性劳动和技能竞赛的品牌项目，于2026年1月启动筹备，以“气筑芯基 智攀高峰”为主题，汇聚集成电路产业精英同台竞技、切磋技艺。

赛事自启动以来收到大量优秀创新成果，在4月16日，于国际气体博览会现场举行启动仪式（点击观看仪式详情），并对优秀成果进行了首次公开展示与路演比拼，行业反响热烈。

图：电子气体创新赛公开路演现场

大赛立足产业实际需求，不仅是技能比拼、创新竞技的舞台，也是研判产业风向、紧跟行业迭代趋势，同步承载人才培育、技术转化、供需对接、投融资合作功能的一体化综合服务平台。

主办单位：

上海市浦东新区总工会

上海市浦东新区科技和经济委员会

上海市浦东新区人力资源和社会保障局

中国共产主义青年团上海市浦东新区委员会

承办单位：上海市张江科学城总工会

协办单位：上海集成电路技术与产业促进中心、上海市集成电路行业协会、上海市浦东新区创业投资协会、无锡市集成电路学会、半导体CAD联盟

支持单位：气体圈子/国际气体工业博览会、上海复鹄电子科技有限公司、上海张江人工智能创新小镇生态服务有限公司

执行单位：茄子（上海）管理咨询有限公司