ASML对中的DUV光刻机出口管制原本从2024年1月1日起生效。但在禁令正式生效前几个月,ASML就先取得荷兰的许可批准,换言之会有多3~4个月的缓冲期,一直到2023年底前都可以继续对中国客户运送DUV光刻机,以顺利履行与中国客户的合约义务。
不过,日前ASML已经发出声明指出,荷兰政府近期撤销部分要于2023年发货的NXT:2050i及NXT:2100i微影系统的出口许可证,将会对少数位于中国的客户产生影响。
ASML也指出,美国政府在近期与ASML的沟通中,对其出口管制的适用范围和影响进行了进一步澄清。美国2023年10月17日发布最新出口管制规则,限制向个别先进芯片制造晶圆厂发运特定型号的中高端DUV浸润式光刻机。
业界认为,美国可能是拿出“外国直接产品规则”FDPR(Foreign Direct Product Rule)来进行长臂管辖。 FDPR在1959年首次被使用,美国用来控制其技术贸易,倘若产品是以美国技术进行制造,美国政府就有权阻止或是干预这项产品的销售,且应用范围不仅在美国境内,也包括外国制造的产品。
FDPR通常比美国出口管制权更为严格,也可以解释为FDPR“填补”了美国出口管制权的一些空白处。不过,业界普遍认为美国要使用FDPR必须非常谨慎,因为这限制的范围通常是针对美国以外的企业,很容易导致美国与其他政府之间出现意见相左或是冲突。
针对这起事件,ASML也强调,当前出口许可证的撤销或美国最新的出口管制限制措施,不会对公司2023年的财务前景产生重大影响。

