覃思科技

2023-01-09

导读：肖特基热场发射（TFE）灯丝是电子束系统中TFE源的最佳替换品，包括FESEM，SFEG-SEM，FETEM，EPMA，俄歇和CD-SEM系统。肖特基TFE源由单晶（100）钨及其表面氧化锆层组成。从

Schottky Thermal Field Emission Sources

肖特基热场发射灯丝

高亮度、直接替换电子源

由驰名全球的电镜耗材专业公司荷兰Micro to Nano(简称M2N；授权中国总代理：覃思科技)供应的YPS肖特基型热场发射（TFE）灯丝，是代替电子束系统中使用的TFE源的最佳选择，包括FESEM，SFEG-SEM，FETEM，EPMA，俄歇和CD-SEM系统。肖特基TFE源由单晶（100）钨丝组成，钨丝尖端非常锋利，表面有一层氧化锆，以降低电子发射的功函数。尖端装在细丝夹上，用于保持尖端在1800K左右的工作温度。该组件安装在圆柱形抑制器电极中，电极有一个细孔，尖端通过该孔凸出。由于热激发和尖端的电场，电子从尖端发射。肖特基TFE源尖端通常具有0.3μm的半径，针尖突出约250μm，以确保发射电子的高亮度。

肖特基热场发射（TFE）灯丝

提供标准设计、翻新设计和定制设计，并提供定制TFE源。这些产品针对那些愿意更改场发射源，并知道如何在清洁环境中更换、装载和对中校准TFE 源的客户。肖特基热场发射（TFE）灯丝的工作真空度通常优于1x10^-9mbar，高于钨或Lab6电子源的工作真空，但低于冷场发射源，在宽范围的加速电压和较长的工作时间下表现了出色的稳定性。

YPS-174 标准肖特基热场发射（TFE）灯丝

是最普通的标准肖特基热场发射灯丝，与Denka和FEI标准肖特基场发射阴极相当。光阑孔径400um，针尖突出250um。兼容于AmRay，Hitachi，JEOL，Zeiss，LEO，Philips，PHI和Riber等品牌的电镜。

YPS-184 肖特基热场发射（TFE）灯丝

是 FEI 肖特基热场发射灯丝的直接替代品。光阑孔径500um，针尖突出250um，很容易通过底部的法兰识别。兼容于 FEI/Philips、CamScan 和 Tescan FE等品牌的电镜。也可以兼容带有TFE源电子束镜筒的其他系统。

YPS-174和YPS-184主要尺寸

交换型肖特基热场发射（TFE）灯丝组件

是FEI XL-30，Sirion，Inspect和Nova NanoSEM系统中所使用的FEI FEG和Sirion SFEG灯丝的替代品。灯丝安装在电子枪组件内提供，并在工厂预对中校准。它可用于FEI系统单元、FEG TFE模块组件和SFEG Sirion模块组件。但仅作为完整的电子枪组件来更换，将在惰性氮气下运输，并在电子枪组件法兰上安装一个保护容器。TFE源的类型可通过电子枪组件法兰上的银色标签来识别。

The YPS FEI FEG and SFEG Schottky TFE module is

a complete exchange module assembly replacement

for the FEI TFE module.

TFE发射器模块选型表：

174型肖特基热场发射（TFE）灯丝订购信息

适用于Amray、Philips、Hitachi、ISI/ABT/Topcon、LEO、PHI、Riber、Tescan和Zeiss 电镜：

184型肖特基热场发射（TFE）灯丝订购信息

适用于FEI, Tescan and Camscan 电镜：

交换型肖特基热场发射（TFE）灯丝组件订购信息

适用于FEI/Philips FESEMs XL30/SFEG, Sirion, Quanta, Nova NanoSEM, DualBeam (FIB/SEMs)等:

电子源性能比较表

电子源性能表（参考数据）是为了提供有关不同类型电子发射器的性能和要求的更多参考信息。钨灯丝阴极仍然在为数不少的SEM和常规TEM中使用。使用LaB6阴极可以获得更好的结果，而使用肖特基或冷场发射源可获得最高的分辨率，但肖特基或冷场发射源只能用于合适的电镜。

关于热场发射源的常见问题（FAQ）

问：TFE源是否不如热离子源（例如钨或LaB6）可靠？
答：否！TFE源非常可靠，可连续工作数月。所有热场发射灯丝均保证一年的正常运行。

问：与W（310）或W（111）等冷场发射源相比，肖特基热场发射有什么优势？
答：主要优点是电子束电流稳定性更好，电子束电流更高，真空要求相对不严格，并且不需要定期发射极闪烁（flash）来恢复发射电流。

问：肖特基热场发射源操作的真空要求是什么？
答：通常，源区域真空度应达到10^-9mbar或更好。

问：与热离子源相比，肖特基热场发射源可以达到什么亮度？
答：肖特基TFE发射源亮度约为10xE8 Acm^-2sr^-1，而热离子源的亮度为10xE5 Acm^-2sr^-1。

问：肖特基TFE源是否需要非常频繁地更换？
答：否！肖特基发射源的寿命由尖端结构中储存的Zr（锆）的寿命决定。通常寿命约为8000小时。

问：在打开肖特基源时，是否需要采取特殊步骤？
答：检查发射器处的真空度为10^-9mbar。需要注意避免对发射器的热冲击，并避免在施加提取电压时发生电击穿瞬变。另外，工作温度不应超过1850K；请参见数据手册，了解电流/温度曲线图。

问：如何操作肖特基TFE发射器？
答：与其它 TFE 源相同。我们提供肖特基场发射器数据页，每个发射器的数据都是唯一的。

问：与冷场发射器相比，肖特基场发射器的电子束电流有多稳定？
答：热肖特基的电子束电流稳定性为<0.5%/h，而冷场发射器的漂移和随机跳跃为5-30%。

问：任何灯丝类的热离子源都可以用肖特基TFE源代替升级吗？
答：是！我们有C>MORE场发射升级服务。在发射器区域需要额外的差分泵浦，并为TFE源提供专用的HT高压电源单元。如需了解详情，请联系我们。

问：冷场发射器是否可以用肖特基TFE源代替？
答：不是作为直接替代品。需要将整套的电子枪和HT电源一起更换。如需了解详情，请联系我们。

译稿：Apple Liu

编辑：J.Su

（查看原文请点击左下角“阅读原文”）

覃思科技是荷兰Microto Nano(简称M2N)授权的中国区总代理，产品广泛应用于SEM、TEM、FIB、AFM、SPM、LM等显微学领域，主要供应: TEM载网、碳支持膜、样品台(样品桩、样品座、样品托、样品夹)、载玻片、钨灯丝、银导电胶、碳胶带、铜胶带、靶材和碳制品(碳棒碳绳)等；也提供各种校准标样、制备工具、真空密封及配件、清洁及防护品、样品储存器皿等。原厂货源，本地服务，买得放心，用得省心！咨询热线: 025-85432278，83353938；010-62908712（北京分公司），欢迎显微学领域各位老师来电来函选购！感谢您扫描二维码关注覃思科技！