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用于SEM的晶圆样品台

用于SEM的晶圆样品台 覃思科技
2024-08-26
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导读:荷兰M2N供应的EM Tec系列SEM样品台,包括多种使您更容易和更快地将样品直接装载到SEM

SEM样品台概述

荷兰M2N供应的系列SEM样品台,包括多种使您更容易和更快地将样品直接装载到SEM中的样品台。样品通过在钳口间夹紧或用螺钉固定来装载。一旦样品被正确固定,样品不会松动漂移,这增加了成像和分析的空间分辨率。采用该系列样品台,也不会出现气体释放或污染问题。所有样品台既可以直接使用,也可以加装适配器与扫描电镜载物台一起使用,几乎可以与任何标准的扫描电镜完美兼容。此外,还供应台式扫描电镜的样品台。








SEM样品台种类繁多,您可点击本文底部“阅读原文”访问M2N官网获取更多样品台信息,以便选购适合您的具体应用的样品台。限于篇幅,本文仅介绍其中的专用于SEM的晶圆样品台(EM-Tec wafer holders for SEM)。

EM-Tec 晶圆样品台专门设计用于直径为 51mm(2英寸)、76mm(3英寸)、100mm(4英寸)、150mm(6英寸) 和 200mm(8 英寸)的半导体晶圆。同时可与平边或缺口的晶圆兼容。样品台设计有独特的锁定滑轨且可调节,以便处理非标准晶圆。由真空铝和自润滑黄铜制成,带有不锈钢弹簧、导销和固定螺钉。


EM-Tec晶圆样品台的优点:

  • 低剖面、重量平衡的支撑盘

  • 方便使用晶圆镊子的方形切口

  • 弹簧可调

  • 可对非标准晶圆进行调整

  • 自润滑锁定滑轨

  • 兼容带缺口的晶圆或带平边的晶圆

  • 兼容所有类型的SEM 载物台适配器


兼容性强:

  • 标准销钉,可安装在使用标准销钉的 SEM 上;包括TFS、FEI、飞利浦、蔡司、LEO、徕卡、Tescan、AmRay、Cambridge Instruments、CamScan、ETEC 和 Novascan 等品牌的SEM。

  • 日立的M4螺纹孔样品台,兼容日立的SEM、FESEM ,以及EM-Tec多功能通用SEM载物台适配器。

  • JEOL圆柱形样品台,兼容JEOL的SEM,,以及EM-Tec带Ø14m的载物台适配器。




EM-Tec晶圆样品台的容量和尺寸规格表




详细订购信息:

译稿:Apple

编辑:J.Su,Allen Yang
(查看原文请点击左下角“阅读原文”)

覃思科技是荷兰Microto Nano(简称M2N)授权的中国区总代理,产品广泛应用于SEM、TEM、FIB、AFM、SPM、LM等显微学领域,主要供应: TEM载网、碳支持膜、样品台(样品桩、样品座、样品托、样品夹)、载玻片、钨灯丝、银导电胶、碳胶带、铜胶带、靶材和碳制品(碳棒碳绳)等;也提供各种校准标样、制备工具、真空密封及配件、清洁及防护品、样品储存器皿等。原厂货源,本地服务,买得放心,用得省心!咨询热线: 025-85432278,83353938;010-62908712(北京分公司)欢迎显微学领域各位老师来电来函选购!感谢您扫描二维码关注覃思科技!

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经营范围:电子光学仪器、光学仪器、分析仪器、测量仪器、仪器仪表研发及销售;计算机系统集成;计算机软硬件、工业自动化系统设计、安装、调试及技术服务
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