美国PIE Scientific出品的EM-KLEEN在线式射频等离子清洁仪，已于近日落户著名上市公司-钢研纳克！作为美国PIE授权的中国区代理，覃思科技负责安装、调试和培训等技术服务工作。我们相信，EM-KLEEN远程等离子清洁新技术的引入将带给用户前所未有的清洁效果和高效运行体验；下面简单介绍一下其工作原理、技术特点和相关应用。
EM-KLEEN型远程等离子清洁仪由美国PIE Scientific采用先进的射频等离子技术精心打造，独家拥有的等离子强度传感器可实时数字化监测等离子状态，用户对等离子状态一目了然，彻底摒弃了传统等离子清洁仪只能凭肉眼估计强度的“盲人摸象”方式，实现了对等离子控制的数字化和智能化程序算法，广泛用于SEM扫描电镜、FIB聚焦离子束双束电镜、TEM透射电镜等高真空系统的清洁作业。在清洁SEM腔室及样品方面，EM-KLEEN表现出色，用户反馈满意度极高。
在科研实验中，碳氢污染物是常见的难题，可能导致SEM图像对比度和分辨率下降，也影响到薄膜等界面匹配质量。EM-KLEEN以高效的远程等离子源技术，通过激发空气等工作介质气体形成等离子体，分解产生氧或氢的活性基，活性基扩散到下游的真空腔室及样品表面，并与其中的污染物发生化学反应，反应产物能轻易地被电镜真空系统抽走。反应方程式：
CxHy(固)+O2(活性)+e-→CO(气)+H2O(气)
碳氢污染物已成为过去，实验结果更加可靠！
EM-KLEEN在清洁SEM及其腔室中的样品时，无需停止或减速涡轮分子泵；独特的低等离子偏压设计有效降低离子溅射和颗粒生成；多级气体过滤技术，能满足用户最苛刻的颗粒污染清除要求；拥有智能安全操作模式和专家控制模式，为用户提供更加灵活和智能的操作体验；EM-KLEEN不仅可以清洁真空系统，还能同时清洁腔室内的样品表面，全方位保障电镜内显微学实验过程的洁净度。
10 min long scan before & after SEM chamber cleaning
EM-KLEEN配备直观的触摸屏操作界面，可定义多条清洗程序方案；基于压力传感回馈控制的自动电子流量控制器，摆脱繁琐的手动调节，使操作更加轻松便捷。
EM-KLEEN与当今主流的SEM或FIB等均可配套
除了EM-KLEEN，美国PIE还推出了Tergeo系列台式等离子清洁、刻蚀、灰化仪以及TEM样品杆清洁仪，它们全部采用等离子强度传感器实时监控等离子，其它多项技术特点也非常卓越和独具一格，能有效解决电镜腔室及其样品/样品杆的清洁难题，助力显微学科研事业迈向新台阶！
(部分图片来自网络，版权归原作者；如侵权，请联系删除)
瑞士Safematic喷金仪、喷碳仪、磁控溅射/热蒸发一体机；
美国Tousimis常规临界点干燥仪、洁净室版临界点干燥仪；
英国Deben原位拉伸台、冷台、EBIC、STEM等SEM探测器；
加拿大Dragonfly三维图像数据集可视化与分析软件；
美国PIE等离子清洁刻蚀灰化仪：台式/远程式/TEM样品杆等；
美国JC Nabity电子束曝光系统：NPGS纳米图型发生器；
荷兰ASI纳秒级超快相机：TPX3Cam系列，用于光子、量子等；
韩国LabSpinner外泌体等EVs分离提纯仪、及提取试剂盒；
日本ATTO电泳凝胶成像、生物/化学发光成像、活细胞成像；
荷兰Micro to Nano (简称M2N)电镜耗材及用品；
英国YPS电镜灯丝、SEM/TEM场发射升级及定制电子源等。
原厂货源，本地服务，买得放心，用得省心！欢迎垂询！
热线: 025-85432278，83353938；010-62908712(北京分部)
精研覃思 无微不至
加微信：137零14零8392
进入“电镜制样及配套设备”交流群
