Tergeo-EM等离子清洁仪能够容纳两个TEM样品杆同时清洁；其腔室足够大，可容纳两个4英寸晶片。用户还可以直接将SEM样品、光阑、TEM载网等放入等离子腔室内。
在成像前去除透射电镜（TEM）和扫描电镜（SEM）样品上的碳氢污染。
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在做扫描透射（STEM）成像后去除碳沉积。 使透射电镜载网具有亲水性，适用于冷冻电镜（cryo-EM）应用。独特的温和下游模式和脉冲等离子体可以处理超薄碳膜和石墨烯载网，而不会损坏这些脆弱的载网。
去除有机污染并原位激活TEM和SEM芯片表面，使液体池芯片表面具有亲水性。
支持Thermo Fisher、JEOL和Hitachi的TEM样品杆、冷冻电镜自动装载盒、SEM样品台以及任何样品座上的常规TEM载网。
清除真空腔室壁上的碳氢化合物和氟碳化合物污染。
在真空环境中原位清洁SEM和FIB样品，确保清洁后的样品不会暴露于空气中而再次受到污染。
减少抽真空时间，提高真空度
保持样品杆干燥清洁，减少抽真空时间和降低污染
对样品杆进行泄漏检查
去除碳烃污染对于扫描电镜（SEM）、聚焦离子束（FIB）和透射电镜（TEM）的成像质量至关重要
含碳烃类污染会降低图像的分辨率和对比度。
润滑油、真空脂、高蒸汽压聚合物以及光刻胶样品可能会将烃类污染引入SEM、FIB和TEM的样品腔室中。X射线光电子能谱（XPS）数据显示，一个清洁的样品表面在暴露于空气中仅一小时后，就会被空气中的烃类污染物所污染。对于高分辨率场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）中的低着陆能量高分辨率二次电子模式成像而言，二次电子主要来自于样品表面极薄的一层。如果样品表面被一层烃类污染物所覆盖，那么信号电子将主要来自于污染层，而不是我们感兴趣的材料。因此，污染会降低图像的对比度并导致图像分辨率下降。
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