Heu, R., Shahbazmohamadi, S., Yorston, J., & Capeder, P. (2019). Target material selection for sputter coating of SEM samples. Microscopy Today, 27(4), 32-39. Retrieved from https://academic.oup.com/mt/article/27/4/32/6813463
本文讨论了扫描电镜(SEM)样品溅射镀膜时靶材的选择。选择合适的靶材对于确保SEM图像质量至关重要。文章详细阐述了不同靶材（如金、金/钯合金、铂、铱、铬和钨等）的特性和应用场景：
靶材选择的重要性：恰当的靶材选择能确保非导电样品在SEM中成像清晰，减少充电效应。
常用靶材及其特性：金（Au）：广泛使用，但晶粒较大，不适用于高倍率成像。
金/钯合金（Au/Pd）：晶粒较小，二次电子产率高，适合一般研究用途。
铂（Pt）和铂/钯合金：同样具有小晶粒和高二次电子产率，适用于多种成像需求。
铱（Ir）：晶粒极细，适用于高倍率成像，但成本较高。
铬（Cr）和钨（W）：能提供精细的成膜颗粒，适合高分辨率成像，但易氧化，需使用高真空溅射镀膜仪。
溅射镀膜仪的选择：强调使用配备涡轮分子泵的高真空溅射镀膜仪以获得更洁净、抗氧化的涂层。
使用纯氩气作为溅射气体，以提高溅射效率和涂层质量。
成像需求与靶材选择：靶材的选择应基于所需的成像分辨率、是否进行X射线微区化学成分分析（EDS）以及靶材与样品元素之间的潜在干扰。
对于低倍率成像，金可能是合适的选择；而对于高倍率成像，铱、铬或钨更为合适。
在本文中被提及的用于溅射镀膜靶材研究的瑞士Safematic镀膜仪，厂家官方授权南京覃思科技有限公司为中国总代理和总服务商。
技术优势
高性能：瑞士Safematic镀膜仪采用现代DC磁控溅射技术，具有高效的溅射速率和稳定的镀膜质量。这确保了镀膜过程的可控性和重复性，提高了SEM样品的制备效率。
高真空度：为了确保镀膜的纯净度和避免氧化，瑞士Safematic镀膜仪在镀膜过程中使用纯氩气作为工艺气体，并维持高真空度。这有助于减少镀膜过程中的污染和缺陷，提高镀膜质量。
灵活性：瑞士Safematic镀膜仪不仅适用于低放大倍数的SEM成像，还适用于高放大倍数、高分辨率的FE-SEM成像。其灵活的镀膜能力使得用户能够根据不同的SEM和成像需求进行定制化的样品制备。
主要应用
高精度镀膜：该仪器能够确保镀膜厚度的均匀性和一致性，这对于获得高质量的SEM图像至关重要。
多种材料镀膜：Safematic镀膜仪支持多种溅射目标材料的镀膜，如Au、Au/Pd、Pt、Pt/Pd等，满足了不同SEM样品和成像需求的选择。
适应性强：文章指出，不同的SEM和样品材料可能需要不同的镀膜材料。Safematic镀膜仪的快速目标更换功能使得用户能够根据不同的应用场景选择合适的镀膜材料。
瑞士Safematic CCU-010系列镀膜仪提供了不同的功能配置,包括:
CCU-010 LV_SP-010普通真空溅射镀膜仪
CCU-010 LV_CT-010普通真空镀碳仪
CCU-010 LV_SP-010+CT-010普通真空喷金喷碳一体化镀膜仪
CCU-010 HV_SP-010高真空溅射镀膜仪
CCU-010 HV_CT-010高真空镀碳仪
CCU-010 HV_SP-010+CT-010高真空溅射和镀碳一体化镀膜仪
这些不同配置可以满足用户在SEM及TEM样品制备中的各种需求，如低倍和高倍电镜成像、X射线微分析、TEM镀碳应用及碳膜亲水化处理等。
Safematic镀膜仪可选配不同的附件实现流程解决方案：针对膜层附着力差、碳膜天然疏水等情形，可实现一次真空下先后完成三个任务。先对样品表面进行等离子刻蚀清洁 (增加附着力)，然后进行镀膜(喷金或喷碳)，最后再对膜层进行辉光放电(亲水化改性处理或表面清洁)
Safematic镀膜仪还可实现远程控制解决方案：针对手套箱、热室等特殊应用场景，可选配RC-010远程控制软件。
总之，用户可根据具体应用选择合适的镀膜仪型号及配置，以获得最佳的镀膜效果和独特的解决方案。
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