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SEM真空传输样品梭,用于空气敏感样品

SEM真空传输样品梭,用于空气敏感样品 覃思科技
2025-06-30
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导读:SEM真空传输样品梭是为样品从手套箱等惰性气体环境转移至SEM真空腔室进行分析和成像的过程中提供保护而设计,兼容SEM、FIB等设备,是转移空气敏感样品进入SEM/EDS的一种简便方案。密封和真空释放

用于空气敏感样品的

SEM真空传输样品梭


VTS-01 SEM真空传输样品梭的设计目的是对样品从手套箱等惰性气体环境转移至SEM真空腔室进行分析和成像的过程中提供保护。该系统兼容SEM、FIB-SEM及表面分析设备,是转移空气敏感的样品进入SEM/EDS系统的一种操作简便、结构紧凑、功能完整且经济实惠的解决方案。真空传输梭的密封和真空释放机制采用纯机械式压力控制设计,无需任何电气线路或真空馈通元件

样品需要制备在样品座上。需将真空传输梭的盖子向一侧旋开,然后在充满惰性气体的环境(手套箱)中装入带有样品的样品座。样品座通过M3螺丝固定。之后盖上盖子,并使用手动真空泵对真空传输梭进行抽真空操作。抽真空后,盖子会密封在真空传输梭的腔室上,同时惰性气体仍保留在传输梭内部。这样便能安全地将样品转移至扫描电镜的真空腔室。当扫描电镜的样品腔室被抽真空,且传输梭外部的真空度优于内部时,盖子会被释放,自动向上抬起并向一侧横向弹开;此时,样品即可进行分析和成像(见文末样品梭演示视频)。不过,这种传输梭可能不太适合用于高孔隙度样品。


样品腔室的尺寸为Ø23× 7毫米。扫描电镜真空传输梭配备了4个样品座:其中一个适用于1mm厚的样品,一个适用于2mm厚的样品,一个45°角,还有一个90°角。需使用双面导电胶带或导电胶水将样品固定在合适的样品座上。随后,利用M3螺丝将样品座固定在真空传输梭的样品腔室内。



特点

真空传输梭的特点:

1.系统完整,包含手动真空泵;

2.结构紧凑,操作简便,经济实惠
3.采用机械式设计,无需布线或真空馈通元件;
4.系统配备45°和90°样品座;
5.兼容M4或3.2mm钉的样品台适配器。

点击观看真空传输样品梭演示视频


撰写:Carina Sun

编辑:Jean Xu

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【声明】内容源于网络
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经营范围:电子光学仪器、光学仪器、分析仪器、测量仪器、仪器仪表研发及销售;计算机系统集成;计算机软硬件、工业自动化系统设计、安装、调试及技术服务
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