分辨率测定标样在电子显微技术中的关键作用- 大数跨境

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分辨率测定标样在电子显微技术中的关键作用

覃思科技

2025-06-03

导读：荷兰M2N提供的未安装或安装在样品座上的分辨率标样分为碳基金颗粒和锡球标样两大类，碳基尺寸6*2mm。碳基金颗粒特征丰富，信号强，适合二次电子像、背散射电子像测定。锡球是易识别的圆形，可用于不允许使用

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SEM分辨率测定标样

高质量的分辨率标样是在SEM、CD-SEM、FESEM、FIB、显微探针、俄歇和SIMS系统上获得最佳的分辨率、设置、光束大小和像散校正的必不可少的工具。行业标准为：碳基底金颗粒标样和碳基底锡球标样。

碳基底的金颗粒具有丰富的特征，为二次电子（SE）成像提供了极好的信号强度。它们同样适用于低电压背散射电子（BSE）成像。锡球是近乎完美的圆形，形状易于识别,可用于不允许使用金颗粒的扫描电镜应用。针对不同的成像应用提供了大小不同的多种颗粒。碳基底的直径均为6mm，高度均为2mm。

碳基底金颗粒分辨率标样

碳基底金颗粒分辨率标样上的金颗粒具有相当尖锐的特征，分散的单颗粒，与碳基底形成极佳对比。有4种不同尺寸的EM-Tec碳基底金颗粒分辨率标样可选：

碳基底金颗粒分辨率标样

1、5-200nm金颗粒，非常适合标准SEM的分辨率测试。用于15000倍或更高的放大倍数。

2、30-300nm金颗粒，用于低电压和中等放大倍数分辨率测试。金颗粒上有一些漂亮的特征。用于10000倍或更高的放大倍数。

3、3-50nm金颗粒，用于SEM和FESEM的高分辨率测试。用于50000倍或更高的放大倍数。

4、2-30nm金颗粒，用于FESEM的超高分辨率测试。用于100000倍或更高的放大倍数。

碳基底锡球分辨率标样

碳基底上的锡球为测定SEM、FESEM、FIB、CD-SEM、显微探针、俄歇和SIMS系统的分辨率提供了一个极好的测试标样。各种尺寸的近乎完美的圆形球体特别适用于确定图像质量、亮度和对比度（灰度）、最佳探针尺寸和像散校正。碳基底锡球标样用于不允许使用碳基底金颗粒标样的扫描电镜应用。圆形球体的形状比金颗粒更容易识别和使用。然而，整体信号水平低于碳基底金颗粒标样。有两种尺寸的锡球分辨率校准标样可用：