栅格（网格、棋盘格、Chessy）放大倍率校准标样
荷兰M2N供应的EM-Tec栅格标样是为SEM和紧凑型SEM快速简便放大倍率和图像校准而开发的。它由超过160万个方格组成，形成四阶网格图案。最小的网格为10 x 10um，最小网格再构成100 x 100um的图案，之后再构成1 x 1mm的网格。1 x 1mm的网格再构成5 x 5mm的图案。
最小的1 x 1um方格由20nm厚的铬和铬上的40nm金构成，沉积在超平导电掺硼<100>硅基底上。这些材料在正常工作条件下被视为惰性材料。对于二次电子（SE）和背散射电子（BSE）成像，成像对比度出色，尤其是在较低的电压下。
栅格校准标样适用于20倍至50,000倍范围内的SEM放大倍率校准，在X和Y方向上的精度为±0.1%。此外，该标样还有助于检查图像失真和SEM（电动）载物台的精度。
栅格校准标样具有NIST可追溯性。随每个栅格校准标样提供一个晶圆级溯源证书。
栅格校准标样的特性：
1.快速简便的放大倍率校准与图像检查
2.特征尺寸：1mm、100um、10um和1um
3.X和Y方向的精度为±0.1%
4.适用于SEM 和紧凑型SEM
5.对于二次电子（SE）和背散射电子（BSE）成像，成像对比度出色，尤其是在较低的电压下
6.NIST可追溯
7.最大网格为5x5mm
8.裸晶尺寸为6mm×6mm，厚度为675um
9.掺硼<100>硅衬底，电阻率为5-10欧姆·厘米
10.网格由20nm厚的铬和铬上的40nm金构成
11.由近乎惰性的材料制成，使用寿命长
可提供未安装和已安装于常见SEM样品座上的标样。
撰写：Carina Sun
编辑：Jean Xu
