在液位线上的料与石英坩埚的接触呈面接触状态,这在熔料过程中容易发生挂边导致坩埚变形。
坩埚最上部全部装了碎小细料,这在熔料时易发生下部已溶完,上部呈结晶状态而造成坩埚变形。
由于硅熔点为1420℃,一般的熔料温度在1550~1600℃左右,如果熔料温度过高,在熔料过程中极易发生变形。
当熔料料温度偏低时,坩埚上部的料与埚壁接触处易发生似熔非熔的状态,当下部料熔完上部已挂边的块料将石英坩埚下拉二发生变形。
原料质量参差不齐,齐所含杂质远高于原始多晶,酸洗工艺不尽完善,这对坩埚的正常使用影响也非常大,主要表现在容易发生严重析晶。
石英坩埚在生产,清洗,包装中受到沾污发生析晶(包括液位线以上的部分)这样石英坩埚原有的厚度会减薄,强度也随之下降,容易发生变形。
5、在放置石英坩埚和装填硅料的过程中由于操作不当坩埚受到沾污也会造成变形。
6、石英坩埚原有厚度太薄,强度不够,也易发生坩埚变形。
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