
石英玻璃材料及其产品作为芯片制造中不可或缺的耗材,贯穿于多个生产环节。近年来,得益于半导体产业的迅猛增长及国家政策的强力扶持,石英材料及产品迎来了广阔的市场机遇。
石英制品在下游领域拥有广泛的应用,它们渗透于集成电路产业的每一个链条之中。以从石英砂到芯片的生产流程为例,这一过程中会用到多种石英制品,如石英坩埚、石英钟罩、石英扩散管、石英舟以及石英玻璃基片等.
半导体用石英部件一般可以分为高温区器件和低温区器件,它们分别应用于扩散、氧化等高温工艺和刻蚀、封装、光刻、清洗等低温工艺。其中,用于高温工艺的石英部件需在千度以上环境中连续运作数小时,这就要求它们必须耐高温、热稳定性优越且不易变形。然而,羟基的存在会改变石英制品主要成分二氧化硅的键合结构,进而削弱材料的热稳定性,大幅降低其耐高温性能。因此,高温工艺所需石英部件必须经过脱羟处理。此外,这些部件还需满足耐腐蚀、透光性佳以及低杂质含量等要求。相比之下,低温工艺的石英部件无需经受高温环境,因此对石英材料的羟基含量没有特定要求。
石英法兰:石英法兰应用在单晶硅片扩散、氧化、CVD环节,与石英玻璃扩散管配套使用,主要起连接作用。
石英坩埚:石英坩埚主要用于生长单晶硅,是半导体工业中不可或缺的容器。其中,石英坩埚的杂质会影响坩埚的力学性能、电阻率分布、单晶的纯度,当铝含量过高时,单晶纯度将会降低;当钠、钾等含量过高时,石英坩埚的熔点降低,高温性能变差,杂质过高还会使得石英坩埚在高温下生成方石英,膨胀系数与体积的改变使得坩埚机械性能急剧下降,影响生产进行。
光掩膜基板:光掩膜技术作为半导体技术中的重要组成部分,其制作材料包含玻璃基板、镀铬膜层、光刻胶、光学膜等,玻璃基板为主要的原材料。其中,石英玻璃基板的主体为石英玻璃,其光学透过率高,热膨胀率低,光谱特性优良,具有较高的硬度和较长的使用寿命,适用于高精度光掩膜基板的制造。光掩膜基板下游领域包括IC制造、IC封装、平面显示和印制线路板等行业。
石英舟及支架:石英玻璃舟及支架是单晶硅片扩散、氧化、CVD沉积、退火处理等工序中不可缺少的石英玻璃承载器具。
石英环:石英环主要应用于半导体硅片刻蚀工艺,可以实现对腔体的密闭保护,防止污染。
石英玻璃扩散管:在半导体用石英制品种类中,石英扩散管是非常重要的石英玻璃制品,用于将半导体杂质原子扩散,其纯度、抗高温的变形性、几何尺寸都会直接影响下游用户产品的质量、成本和生产效率。
高纯度的石英玻璃作为半导体芯片制造过程中的核心支撑材料,依据其生产工艺的差异,被划分为两大类:天然与合成石英玻璃。天然石英玻璃源自自然界的结晶石英,经由高温熔融处理而成,细分为电熔和气熔两种类型,它们被广泛应用于半导体工艺中的蚀刻、扩散、氧化等环节,作为承载器件及腔体消耗材料。相比之下,合成石英玻璃则采用诸如SiCl4、有机硅等含硅化合物作为起始原料,通过化学气相沉积技术(CVD)来制备。CVD工艺的基本流程是将含硅化合物在载气的作用下导入氢氧火焰喷灯,在高温环境中发生化学反应,生成SiO2微粒,这些微粒随即沉积在旋转基座上,逐渐累积形成石英玻璃块体,再经冷却固化,最终制得合成石英玻璃锭。这类材料主要服务于TFT-LCD、IC制造中的光掩膜基板以及半导体高端制造领域中的石英玻璃材料配套需求。
气熔石英玻璃采用氢氧焰烧制,虽杂质含量较低,但羟基含量相对较高。羟基在高温环境下会导致石英的耐热性下降,故其主要应用于半导体生产中的低温环节,如清洗、刻蚀和研磨等工序。产品涵盖石英玻璃花篮、清洗槽、石英环及支架等。
电熔石英玻璃具备低羟基含量与卓越的耐高温特性,主要应用于半导体生产流程中的晶圆热氧化、离子注入、扩散及沉积等高温环节,涵盖的产品有石英扩散管、石英舟、多晶硅还原炉的炉罩以及单晶硅外延生长的钟罩等。
合成石英玻璃以其极高的纯度展现出卓越的光学特性,能够依据尺寸需求定制成各类规格的平板。经过金属涂层处理及腐蚀刻录技术后,这些平板被加工成光掩膜基板,其上精确记录着完整的集成电路设计图案。借助光刻工艺,这些设计图案能够精准地转移到晶圆之上。
石英玻璃能经由后续的加工手段,如热加工与冷加工,被塑造为多种形态的玻璃器具和容器。其中,通过热加工技术,可以制作出石英环、石英舟、石英坩埚等各类石英产品。
冷加工指的是利用数控机械设备或手工技术,对石英材料进行切割、研磨、铣削等工序,以制成产品的各个部件,并最终通过组装焊接形成成品。部分刻蚀类产品则可直接通过机械设备加工成最终产品。
火加工在石英加工中分为玻璃车床火加工和手工火加工两种。前者是将石英管原材料固定在车床上,利用车床的旋转,配合氢氧气作为燃料,由石英技师进行二次整型、成型及抛光等操作。后者则主要依赖技师的手工技艺,同样使用氢氧气作为燃料,进行吹制、焊接、抛光等工序,火加工是石英加工流程中的核心环节。
半导体作为数字经济的核心支撑,对全球信息科技产业的蓬勃发展起着决定性作用。尽管全球半导体行业在2023年因宏观经济波动和市场周期性调整遭遇了短期挑战,但整体上仍维持着高速发展的轨迹。步入2024年上半年,该行业已展现出强劲的复苏迹象,众多半导体上市企业预计业绩将有所增长,这标志着行业周期转折点的临近。
高纯度石英玻璃材料及制品,作为半导体芯片制造流程中不可或缺的关键耗材,在芯片的扩散、刻蚀等关键环节扮演着至关重要的角色。展望未来,随着半导体集成电路市场的不断膨胀,石英制品的需求将持续攀升。据估算,每生产价值1亿美元的电子信息产品,平均需要消耗价值50万美元的高纯石英材料。在全球人工智能(AI)、高性能计算(HPC)需求激增的推动下,无论是AI芯片在云端与终端的广泛应用、半导体芯片在电动汽车与自动驾驶领域的深入渗透,还是节能需求引领的第三类半导体应用趋势,都将进一步推动全球半导体产业价值的提升与版图的扩张。
据相关研究数据介绍,从2017年到2021年全球半导体石英制品的市场规模保持在140亿元-200亿元之间。根据凯德石英公司公告测算以及WSTS预测,2022-2024年全球半导体石英制品规模分别为247、224、253亿元。预计2027年全球半导体石英制品市场将达到395亿元。
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