
石英具有稳定的物理化学性能,且它耐高温、耐腐蚀、透光性好、绝缘性能优异。正式因为这些特性,才使石英在半导体制造中具有得天独厚的优势。而高纯石英砂具有独特的分子链结构、晶格形状和晶格变化规律,更是展现出极好的化学稳定性、极低的体膨胀系数、极高的耐温性以及高绝缘耐压能力。石英制品依靠这些性能,在半导体制造过程中保持了可靠性和稳定性。
其实,半导体行业对石英的纯度要求是极高的,在半导体生产过程中,无论是提拉法生产单晶硅,还是清洗单晶硅和印制集成电路,都需要用到高纯石英砂、硅微粉、多晶硅、石英坩埚和石英玻璃等制品。
单晶硅的拉制
高纯度的石英坩埚是拉制单晶硅的关键部件。其性能直接影响单晶硅的成晶率和质量。
晶圆制造
在晶圆制造环节,石英玻璃扩散管、石英法兰、石英玻璃炉管以及石英舟等石英玻璃器具发挥着重要作用。它们确保了晶圆在制造过程中的稳定性和纯净度。
芯片制造
在芯片制造环节,光刻、刻蚀和薄膜沉积等工艺中使用的光掩膜基板等石英制品,对芯片的性能和良率至关重要。
此外,随着晶圆尺寸的增加,半导体生产线中使用的石英玻璃制品的种类和数量也相应增加,石英制品也已经成为半导体生产线中的硬性消耗品。
石英在半导体制造中扮演了重要的角色一不言而喻,但国内石英制品市场仍面临诸多挑战,如原材料供应垄断、设备厂商认证难等。
国内高纯石英砂市场呈现高度垄断态势,高品质矿源稀缺,提纯工艺难度大。这限制了国内石英制品产业的发展。
石英制品是高度客户导向性产业,打入设备厂商供应链需获得其认证。这对石英制品厂商的工艺水平和管理水平提出了极高要求。目前,国内石英制品厂商在半导体制造领域的高端产品比重较低,主要用于光伏领域,导致整体利润率低于海外市场。
然而,随着半导体景气周期带来的全球晶圆厂规模扩张,与之对应的石英市场也预期保持同比例的增长,这也为国内石英制品厂商提供了发展机遇。而一些领先企业如石英股份、凯德石英等,已加大推进电子级半导体石英产品的认证工作,并取得显著进展。
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