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美国怀疑ASML EUV光刻机偷偷流入中国!号称有证据 但拒绝公开

美国怀疑ASML EUV光刻机偷偷流入中国!号称有证据 但拒绝公开 快科技
2026-06-20
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导读:近日,美国政府公开质疑荷兰ASML将其最先进的EUV光刻机设备悄悄出口给了中国,ASML方面对此则是坚决否认。

近日,美国政府质疑荷兰 ASML 违规向中国出口先进 EUV 光刻机,ASML 对此予以坚决否认。

美方指控缺乏实据

美国商务部长 Howard Lutnick 向 ASML 高层提出质询,担忧其违反出口管制导致设备流入中国,成为中方技术突破的推手。尽管多名美官员声称掌握 ASML 出口相关装置及转运系统的线索,但至今未公布任何实质性证据,仅以信息敏感为由拒绝披露。

根据《瓦森纳协定》,ASML 禁止向中国交付 EUV 设备及技术。事实上,中芯国际此前采购的一台 EUV 设备至今仍滞留荷兰,从未入境。

ASML:指控毫无依据

ASML 发言人指出,关于其违反对华出口管制的传言屡见不鲜且均被证伪,此类虚假说法严重损害公司声誉。ASML 强调,公司充分理解西方国家的安全顾虑,但从未向中国出口 EUV 光刻设备。这不仅受限于《瓦森纳协定》,更严格遵守美荷两国最新出台的出口管制条例。

ASML 官方表示,公司与全球各国政府保持透明沟通,一旦管制政策更新,即刻调整业务模式以确保完全合规。

技术与物流双重壁垒

内部数据显示,全球在用的 314 台及已退役的 26 台 ASML EUV 光刻机,均不在中国大陆境内。此外,EUV 设备需始终与 ASML 后台联网,实时监测失联、异常操作或通信故障。

在物流层面,EUV 设备重达 180 吨,包含数十万个零部件,必须拆分后通过多架飞机空运,并遵循严苛的专业操作标准。若无官方技术支持,客户无法自行拆解、转运或重装。因此,悄无声息地整机走私、利用零散备件拼装还原或逆向仿制,在技术上均不可行。

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