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从根源处解决卡脖子！韩尝试OLED核心部件FMM国产化
总投入222亿韩元！开启OLED设备零部件国产化之路
FMM（Fine Metal Mask，精细金属掩模版)是中小尺寸柔性OLED生产中不可或缺的材料，是形成高分辨率像素的必需零部件。
在柔性OLED实现商用化数年期间，韩国厂商一直在尝试FMM的国产化，但目前为止还没有合适的应对方案。
FMM是完全依赖日本的代表性核心零部件。FMM使用由铁和镍合成的Invar材质。因为热膨胀系数（CTE）非常低，被认为是在高温下增加有机物的OLED生产工程最适合。
DNP（大日本印刷）从Hitachi Metals获得Super Invar合金并制造出FMM。尤其是拥有20μm以下的薄型FMM生产技术，因此在市场上处于垄断地位。
三星显示与Hitachi Metals-DNP签订了20μm以下厚度的FMM独供合同。DNP虽然也向LG显示和中国面板厂商供应FMM，但是供应的是技术水平较低的30μm更加厚的产品。FMM越厚越难实现高分辨率。
韩国为了打破DNP垄断的结构，很多中小企业持续了数年的攻关。Wavetc，TGO Tech，Philoptics等厂商正在开发FMM。与DNP采用的压延和蚀刻的方式不同，韩国厂商正在尝试通过电溶解将基板镀金制作薄板的电铸方式。APS Holdings和AP System则正在开发通过激光形成Mask孔洞的技术和相关设备。
韩国政府为提升OLED核心设备零部件国产化，将着手进行技术开发。将选择进口依赖度较高的核心设备，以提升自立能力和产业链竞争力。
韩国产业通商资源部短期内将针对进口依赖度较高的OLED主要核心零部件等进行选择，并在短期内着手开展‘OLED核心零部件技术开发’。此项事业在5月份时已完成参与报名，将在本月内签订正式合约。本次的技术开发将由面板厂-设备厂-零部件厂共同参与。
本次事业将从今年开始到2022年共计投入222亿韩币（4年总计，约合1.3亿人民币）。选择的项目针对进口依赖度较高的显示面板和半导体、太阳能、LED等多个领域的零部件中影响力较大的品类。
主要模式为零部件厂商进行研发后由设备企业进行第一次可靠性评测，面板厂最终进行采用国产化零部件的设备性能评测。共选定了供应零部件2款、PECVD和AD两款零部件、蒸镀机零部件3款、干蚀刻机用零部件1款、清洗单元零部件1款。
产业部计划今年先从OLED PECVD时刻设备90kW以上RF电源系统、薄膜蒸镀设备原料供应大容量高温canister技术、LTPS薄膜撕贴制造设备用Laser Beam光学系统开发、OLED制造设备零部件性能评测支援等4项事业开始进行起航。
韩国业界呼吁，要针对进口比率较高的设备零部件进行体系化调查，制定出中长期路标计划。日本的出口限制影响下，应加速进行供应链的国际多元化，需要重新审视核心设备零部件的自立能力和必要性。
对此，产业部相关人士表示：核心设备的企业需求不同、种类繁多，政府是优先从对国产化急迫性较高的公用零部件领域开始着手此项事业，后续还会评估扩大方案。
文｜小膜君
来源｜CINNO
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