什么是静电？
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静电（staticelectricity）是一种处于静止状态的电荷。静电是一种电能，它留存于物体表面：静电是正电荷和负电荷在局部范围内失去平衡的结果：静电是通过电子或离子的转移而形成的。
静电是一种静止不动的电，就好像把水放在一根平放的管子里，水在管中静止不动一样，也就是当电荷积聚不动时，这种电荷称为静电。
静电的特点
1. 静电的电量小，静电电压高
2. 静电的能量不大
3. 绝缘体上的静电消失或泄漏的很慢
4. 静电会放电
5. 静电会产生静电感应
6. 静电是可以屏蔽的
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洁净室中的静电
由于洁净室的洁净度要求，洁净室容易产生静电的原因如下：
洁净室中大量的高绝缘介质装饰材料、地面、墙、门、顶棚、隔断、工作台、椅子等等，这些材料摩擦容易起电带电，不易泄漏释放。
人穿洁净工作服、鞋、步行或工作时，与不同物质设备器材摩擦要产生静电，人、衣服、鞋都会带电。
空调气流经过初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器，净化出口气流是带静电的。
大量的绝缘器材、装备和工具，也是重要的静电电荷源。晶片装配生产线：晶片装料盒35KV，有机玻璃盖8KV，石英制品1.5KV，晶片托盘6KV，丙烯酸脂盖20KV，台桌面10KV，塑料存贮柜30KV，玻璃纤维晶体载料盒滑过聚丙烯桌面带10KV。
总之：洁净室的洁净度要求越高，静电带电便越严重。
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洁净室静电的危害
#1
洁净室中静电吸附伤害：
产品带有静电时会吸引空气中的尘埃，使得尘埃吸附在产品表面，从而造成异物不良。如：元器件增大泄漏或形成短路，使性能受损，成品率和可靠性大大下降。对于洁净度要求比较高的产品，静电要求尤为严格。
洁净室中静电放电伤害：
元器件的绝缘氧化膜被击穿，引线被烧断或线间熔断。若人体带上10KV（100PF）的静电荷，触摸器件脚时发生ESD，其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20A（10~100s），不要说高密度，细线径，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，就是一般IC、MOS都会遭受损坏。
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#2
#3
洁净室中噪声、电磁波干扰：
ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖，信号强，相当于电路中几伏的能量，频率跨越几MH2甚几百MH2的强大噪声，可能引起元器件损坏，设备和传感器不正常工作，甚至引起设备死机。
ESD引起的EMI还会引发错误信号的输入，或发生锁存现象。如无尘室中，将晶圆片的EMIF箱放在钢的手推车上，晶圆片的ESD会通过电感传给手推车，车轮是绝缘的，则EMI的扩散会引起晶圆片处理机死机。
静电电击对人体的危害：
静电电击只发生在瞬间，通过人体的电流为瞬时冲击电流，其危害主要表现在3个方面：直接伤害、二次伤害、精神紧张。人体遭受电击时，会精神紧张，发生误操作、高空坠落、摔伤或触碰机械造成伤害等后果
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#5
静电引起火灾爆炸：
静电放电引起的最危险的灾害是成为可燃物的火源并引起爆炸。例如，国外文献统计，在手术室使用爆炸性麻醉剂的86000次中，爆炸的36次，其中由静电引起的达21次。因而静电引起爆炸和火灾的条件可以归纳为以下几点：①要具备产生静电电荷的条件；②要具备产生火花放电的电压；③有能引起火花放电的合适间隙；④现场环境有爆炸性混合物；⑤放电火花
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洁净室静电的控制
#1
洁净室中静电敏感元件的保护
#2
消除洁净室中产生静电的材料与过程，尽量减少静电荷的产生。如：减少压力或速度、减少摩擦频率、采用不容易产生静电的内装材料等。
#3
加速静电的泄露
1) 洁净室中的接地
对于导体和静电材料来讲，接地是最直接有效的方式。为了保证建筑的安全，通常设置公共接地端。在有静电要求的生产车间和EPA（防静电工作区）内，大型的设备、仪器、工作台、固定使用的工具都需要接地。
局限性：对于绝缘体表面的静电毫无作用
注意事项：要有一定的接地电阻才能保证静电的安全泄露
2) 洁净室中使用防带电的设备、用品等。
3) 保持洁净室中的环境温湿度。空气湿度在50%左右，温度在23℃左右条件下，其形成的空气导电会有良好的防静电环境。
#4
中和洁净室中的带电电荷。洁净室中难免存在一些不能接地的绝缘导体，绝缘介质材料（例如大多数普通塑料），在某些环境下，离子化静电消除器常用来局部消散这些物体上的静电荷，而更经常的是借助于空气离子化来中和在绝缘介质上和孤立导体上的所带静电电荷。
#5
洁净室中的防人体带电
1) 进入洁净室的人员必须穿戴防静电服、防静电鞋、防静电腕带、套袖、手套、护腿等来消除静电。运输周转中的工具如小车，箱子也应采用防静电的产品。
2) 采用导静电地板。洁净室的地面要考虑防静电性能的耐久性、低发尘、耐水、耐酸碱、阻燃。
3) 其他空手接触室内接地金属棒、用导电带把人体与导电鞋、接地导体连接等。
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