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世界各国洁净度等级相关标准

世界各国洁净度等级相关标准 程泉智能
2021-10-30
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导读:洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。一般在洁净室是有等级的,采用多种工序操作时,应根据各工序不同的要求,采用不同的空气洁净

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什么是洁净室?















净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。


洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%-15%,64位储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。




















洁净度等级的划分


一般在洁净室是有等级的,采用多种工序操作时,应根据各工序不同的要求,采用不同的空气洁净度等级,依据工序要求确定等级。



  • ISO14644-1(国际标准)


  • 美国联邦标准(USA Federal Standard)

    - 空气中微粒的洁净等级对照
    - 空气微粒洁净等级 (每立方米,每立方英尺)微粒的最大浓度限值



  • 中国药品生产洁净室(区)的空气洁净度标准



  • 基于≥0.5μm粒径的各国洁净度等级近似对照表


  • 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级


参考文献:

【1】     ISO 14644-1:2015. https://www.iso.org/standard/53394.html

【2】     中国国家标准 GB50073-2001

【3】     美国联邦标准 (USA Federal Standard) 209E (1992年)

【4】     中国药品生产洁净室(区)的空气洁净度标准,国家药品监督管理局1999年8月1日发布实施



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上海程泉洁净技术有限公司成立于2017年,是一家专注高精密恒温恒湿实验室、洁净室、超快激光实验室整体解决方案、洁净室整体升级改造的设计、生产、施工、以及售后服务,设计施工一体化的科技型企业。


公司自成立以来,始终致力于高精密恒温恒湿实验室、超净间系统的研发、规划设计与工程建设,具有行业领先的设计理念、专业的施工技术和完善的培训、售后服务体系,截至2021年9月已经成功为数十家机构的客户提供了优质的咨询服务和专业的技术支持。


公司研发的节能恒温洁净技术,是一种专门为对洁净度、温度控制、湿度控制有超高要求的科研和制造场合提供洁净间建设的服务。该技术已经获得国家专利授权。


我们的宗旨是:创新、务实、合作、共赢。




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