尘埃粒子计数器校准规范
JJF1190-2008
国家质量监督检验检疫总局发布
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https://cleanroomtechnology.com/news/article_page/Making_sense_of_particle_counters/143725
尘埃粒子计数器校准规范
（节选）
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范围
本规范适用于光散射式激光尘埃粒子计数器（以下简称粒子计数器）的校准。
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术语
2.1 单分散粒子 (monodisperseparticle)
一批聚苯乙烯球状粒子，其粒子直径分布的相对标准偏差≤5%。
2.2 粒径 (particlesize)
空气中某种离散粒子的直径 (简称粒径)，是与散射光的强度相对应的某单分散粒子的直径，单位μm。粒子计数器测定的粒子的粒径在(0.1~10)μm 范围内。
2.3 粒子浓度 (particleconcentration)
在规定的采样流量和采样时间内，被测空气单位体积中存在的不小于指定粒径的离散粒子的个数。
2.4 粒径分布误差 (errorofparticlesize)
粒子计数器对不同粒径粒子在气溶胶中所占百分比进行测量时的测量误差。
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概述
粒子计数器是测定洁净空气中离散粒子的粒径及其粒子浓度，以确定洁净室和洁净环境的洁净度等级的仪器。尘埃粒子计数器亦可用于空气含尘量的测量，以及净化台和过滤器的性能检测。
粒子计数器主要由气路系统、光学系统、数据处理系统等部分组成。其工作原理是：空气中的粒子对入射光有散射作用，散射光的强度与粒径有关。将含有尘埃颗粒的空气从尘埃粒子计数器的采样口吸入，通过光敏感区时，尘埃粒子受光照射，散射出与粒子大小成一定比例关系的光脉冲信号，该信号被光敏器件接受并转换成相应的电脉冲信号再被放大，通过对一个检测周期内电脉冲的计数，便可得知单位体积采样空气中的尘埃粒子个数，即粒子浓度。
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计量特性
4.1 外观要求
无影响校准结果的缺陷：各零部件应齐全并且连接可靠，不应有影响使用的损伤和变形；各旋钮和开关无损伤和卡死现象。
4.2 绝缘电阻
仪器绝缘电阻不小于20MΩ。
4.3 电气强度
仪器经受1.5kV/50Hz交流试验电压，保持1min，不应出现飞弧和击穿现象。
4.4 自净时间
不大于10min。
4.5 流量误差
采样流量设定值的误差不超过±5%。
4.6 计时误差
采样时间6min的计时误差不超过±1s。
4.7 重复性
在相同测量条件下，粒子浓度连续测量值的重复性不大于10% FS。
4.8 粒径分布误差
0.5μm、5μm 粒径挡分布误差不超过±30%。
4.9 粒子浓度示值误差
粒子计数器处于正常工作状态后，0.5μm粒径档的粒子浓度示值误差不超过±30% FS。
*注：以上技术指标供校准时参考。
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校准条件
5.1 校准环境
环境温度：(20±5)℃；
环境相对湿度：<75% RH；
供电电源：(220±22)V，(50±2)Hz；
实验室：洁净度10000级的净化室或净化区。
5.2 校准用主要设备
5.2.1 单分散粒子：(0.1~10) μm 各粒径档的单分散粒子，其粒径分布的相对标准偏差≤5%。
5.2.2 尘埃粒子发生测量装置：发生粒子粒径范围(0.1~10)μm，粒子浓度(1000~100000)个/28.3升；流量稳定性控制在±5%/8h；粒子浓度测量的重复性≤5%。
5.2.3 秒表：分度值0.01s。
5.2.4 流量计：40L/1.5级和4L/1.5级。
5.2.5 纯水：采用反渗透法制得的，满足 GB/T17323-1998的纯净水。
5.2.6 容量瓶：100mL，A 级。
5.2.7 微量进样器：10μL，4% FS。
5.2.8 超高效过滤器：可过滤0.1μm 的粒子。
5.2.9 绝缘电阻表：500V，10级。
5.2.10 耐压测试仪：(0~5)kV，5级。
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校准项目和校准方法
6.1 外观要求
开机，依据粒子计数器说明书进行预热，目测检查。
6.2 绝缘电阻
仪器处于非工作状态，开关置于接通位置，用500V 兆欧表检查粒子计数器的电源相线、中线的连线与地线端之间的绝缘电阻。
6.3 电气强度
仪器处于非工作状态，开关置于接通位置，用耐压测试仪在电源相线、中线的连线与地线端加试验电压，试验电压为频率50Hz的基本正弦波交流电压，泄漏电流最大不超过5mA。试验时，电压的起始值应不大于规定值的50%，然后逐渐升到1.5kV，保持1min后平稳下降到零，不应出现飞弧和击穿现象。
6.4 自净时间
仪器预热进入正常工作状态后，先对实验室内的空气进行粒子浓度测量1min，然后将粒子计数器采样口接超高效过滤器 (或仪器自备的自净口)，使粒子计数器处于自净状态，并开始计时。每次采样时间为1min，并且连续进行。粒子浓度三次为零时停止计时。
从仪器开始计时到停止计时之间的时间为自净时间。
6.5 流量误差
6.5.1 采样流量要求在10000的洁净室中进行，并记录下测量时的温度、湿度和大气压力。
6.5.2 将标准流量计接在仪器的进气口上，接管尽可能短。开机，开采样泵，粒子计数器进入正常工作状态后，调整仪器流量至其设定值。测定其流量1次，0.5h后再同样测定1次。
6.6 计时误差
6.6.1 粒子计数器进入正常工作状态后，将采样时间设定在6min，同时启动秒表和粒子计数器，待粒子计数器到达设定的采样时间时，停止计时，记录秒表最后显示时间t。
6.6.2 按式 (2)计算计时误差 Δt：
Δt=t0 -t (2)
式中：
t0 - 粒子计数器的采样定时时间，t0=360s；
T -秒表计时时间。
6.7 重复性
6.7.1 使用附录 B装置进行重复性试验，被检仪器进入正常工作状态后先自净。
6.7.2 将0.5μm左右的单分散粒子稀释液，充分摇匀后，注入附录 B装置的喷雾头中，雾化后粒子浓度控制在 (4500~5500)个/28.3升之间。雾化后，按照仪器操作规程输入到被检粒子计数器。
6.7.3 在粒子计数器正常运转5min后开始测定粒子浓度，连续采样至少10次。
6.8 粒径分布误差
6.8.1 粒子计数器进入正常工作状态后先进行自净。
6.8.2 按照6.7.2方法，将0.6μm 左右单分散粒子稀释液通过附录 B装置输入到被检粒子计数器。
6.8.3 在粒子计数器正常运转5min后开始测定粒子浓度，连续采样3次。
6.9 粒子浓度示值误差
6.9.1 粒子计数器经过预热时间后，先进行自净。
6.9.2 将0.5μm 单分散粒子稀释液通过附录 B的装置产生稳定的气溶胶，输入到相同流量的精密粒子计数器和被检粒子计数器中，雾化粒子浓度控制在 (4500~5500)个/28.3升之间。
6.9.3 在粒子计数器正常运转5min后开始测定粒子浓度，粒子计数器连续测10次。
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校准结果的表达
校准结果应该在校准证书或校准报告上反映。
校准证书或校准报告至少包括以下信息：
标题，如 “校准证书”或 “校准报告”；
实验室名称和地址；
进行校准的地点；
校准证书或校准报告的唯一性标识 (如编号)，每页及总页数的标识；
送校单位和地址；
送校对象的描述和明确标识；
校准日期，需要时应说明送校日期；
如果与校准结果的有效性和应用有关时，应该对抽样程序进行说明；
校准所依据的技术规范；
校准所使用的测量标准的溯源性及有效性说明；
校准环境的描述；
校准结果及测量不确定度的说明；
校准证书或校准报告签发人的有效标识以及签发日期；
校准结果仅对被校对象有效的声明；
未经实验室书面批准，不得部分复制证书或报告的声明。
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复校时间间隔
粒子计数器的复校时间间隔由用户决定，建议不超过1年。
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