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【信瑞达石墨】直拉单晶硅炉石墨件在热场中的应用

【信瑞达石墨】直拉单晶硅炉石墨件在热场中的应用 信瑞达石墨
2015-06-02
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导读:  石墨在直拉单晶硅炉以高纯石墨、碳毡和碳薄三种形式在应用,石墨器件在炉內的化学反应是:C+SiO2→SiO


  石墨在直拉单晶硅炉以高纯石墨、碳毡和碳薄三种形式在应用,石墨器件在炉內的化学反应是:C+SiO2→SiO+COSiO+2C→SiC+CO以上化学反应对石墨坩埚、加热器和保温筒产生以下影响:一、石墨坩埚1、石墨坩埚的內侧面发生上面的化学反应,在分瓣面附近R(圆角)部分发生消耗,其厚度变薄,由于Sic的生成,內侧面发生体积膨胀,引起坩埚的变形,分瓣面上部开裂等不良现象。2、坩埚的外侧面由于Si蒸汽或SiO气体而发生Si蒸汽的凝结,并出现SiC现象,但是SiC的生成的厚度比內侧面薄;


  3、外侧面的Si凝结多的时候,最后在R部形成滴状残留;


  二、加热器


  1、发热部分的上半部正对着坩埚,温度较高,由于与SiO气体的反应引起消耗,厚度及宽度变小;



  2、发热部分的下半部温度较低,有Si蒸结及生成SiC现象;



  三、保温筒

  1、內侧面与SiO气体反应,生成SiC,使体积膨胀,可能发生保温筒变形、裂缝等现象;

  2、温度低的情况下,內侧面的下部分有Si蒸结现象;


  在直拉单晶硅热场中使用的是各向同性石墨,其特点是:


  1、石墨粒子各向均匀排列,特性与尺寸、形状、取料方向无关;


  2、强度高,不易破裂;3、粒子直径小,密度高;


  4、传热、受热、放热均匀,温度分布均匀;


  5、与石英坩埚及上叙各种气体的反应小,消耗小,寿命长;


  6、承压能力强,渐少各种可能的歪斜和破裂;


  直拉法生产单晶硅是目前制备单晶硅的最主要方法,热场系统是硅材料成晶的最重要的条件之一,热场的温度梯度分布直接影响着是否能顺利地拉出单晶和控制单晶的质量好坏。因而热场的设计和改进对一个有竞争力的拉晶厂家来说非常重要。热场的部件主要包括石墨加热器、石墨坩埚、导流筒、保温筒、埚托、炉底护盘等等,各家在设计过程中会略有不同。


  信瑞达石墨多年来一直致力于石墨热场,石墨模具,等静压石墨、模压石墨、防雷石墨片、石墨坩埚、石墨加热器、石墨保温桶等石墨加工件的加工和研发,经过不段努力,信瑞达石墨成为世界五百强石墨制品供应商,我们深知,技术与创新是企业发展的基石信瑞达石墨拥有铣、车、刨、切、钻、打磨以及CNC(数控机床)等加工能力。成本的控制和准确的结果对顾客来说是最重要的。因此,为客户提供最优质的石墨碳素制品和良好的服务是信瑞达石墨一直所追求的。


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信瑞达,提供的不仅仅是石墨。
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