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【信瑞达石墨】石墨材料在多晶硅铸锭炉应用

【信瑞达石墨】石墨材料在多晶硅铸锭炉应用 信瑞达石墨
2015-07-08
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导读:   多晶硅铸锭炉是多晶硅制造的关键设备之一,其工艺流程的稳定性、设备控制的稳定性和先进性直接关系到是否生成



   多晶硅铸锭炉是多晶硅制造的关键设备之一,其工艺流程的稳定性、设备控制的稳定性和先进性直接关系到是否生成出合格的硅锭,而合格的硅锭直接决定着硅片制成的电池的光电转换效率。多晶硅铸锭炉由罐状炉体、加热器、装载及隔热笼升降机构、送气及水冷系统、控制系统和安全保护系统组成。多晶硅片质量的好坏主要取决于多晶硅在多晶硅铸锭炉中的定向生长。石墨材料在多晶硅铸锭炉中的应用多晶硅铸锭炉中,多个组件是需要石墨材料。特别是加热器中使用的加热材料-高纯石墨,以及加热器中使用的隔热材料-高纯碳毡隔热材料,是目前重要的配套材料。


  ﹙1﹚加热器中使用的加热材料-高纯石墨材料在多晶硅铸锭炉设计上,为使硅料熔融,必须采用合适的加热方式。从加热的效果而言,感应加热和辐射加热均可以达到所需的温度。一般多采用辐射加热方式。它可以对结晶过程的热量传递进行精确控制,易于在坩埚内部形成垂直的温度梯度。


  石墨加热器的加热能力要求标准高,同时其材料不能与硅料反应,不对硅料造成污染,能在真空及惰性气氛中长期使用。符合使用条件可供选择的加热器有金属钨、钼和非金属石墨等。由于钨、钼价格昂贵,加工困难,而石墨来源广泛,可加工成各种形状。另外,石墨具有热惯性小、可以快速加热,耐高温、耐热冲击性好,辐射面积大、加热效率高、且基本性能稳定等特点。


  ﹙2﹚加热器中使用的隔热材料-高纯碳毡隔热材料对于铸锭工艺而言,为了提高生产效率,要求设备的升温速度尽可能快;由于采用真空工艺,要求炉内材料的放气量应尽可能少,缩短真空排气的时间;同时硅料中温度梯度的形成还需要隔热层的精确提升实现,隔热层的质量要尽可能轻,以减少升降时的惯性而影响控制精度。综上所述对于隔热材料的选择要求是:耐高温、密度低、导热小、蓄热量少、隔热效果好、放气量少、重量轻、膨胀系数小,在众多的耐火保温材料中,以高纯碳毡最为理想。


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