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什么是“完全切割”与“半切割”?一张图带你读懂

什么是“完全切割”与“半切割”?一张图带你读懂 长沙光祺电子
2025-12-02
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导读:晶圆划片这道工序中的两种关键技术路线,决定了芯片分离的不同命运。在半导体封装前道的划片工艺中,工程师们常常会提到两个术语:“完全切割” 与 “半切割”。
晶圆划片这道工序中的两种关键技术路线,决定了芯片分离的不同命运。

在半导体封装前道的划片工艺中,工程师们常常会提到两个术语:“完全切割” 与 “半切割”

它们是什么?为何会有两种不同选择?哪一种更适合您的产品?今天,我们用一张图为您彻底讲明白。


完全切割:直接了当的“外科手术”

定义: 顾名思义,使用金刚石刀片或激光,一次性将晶圆连同其背面的承膜胶(Tape)完全切穿,使芯片成为独立的个体。

关键特点:

  • 工艺流程简单: 一步完成切割,无需额外裂片步骤。

  • 对晶圆厚度有要求: 传统上适用于较厚(通常 >150μm)的晶圆。切割超薄晶圆时,容易因应力导致碎片或翘曲。

  • 对切割品质要求高: 需要严格控制参数,以避免切伤承膜环或导致芯片飞溅。

典型应用场景:

  • 传统的、厚度较大的硅基芯片。

  • 对工艺成熟度和稳定性要求极高的量产环境。

  • 使用刚性蓝膜或UV膜,能提供足够支撑力的场合。

半切割:为“超薄”而生的巧思

定义: 这是一种 “先切割,后减薄” 的先进工艺。首先从晶圆正面切割一定深度(例如晶圆原始厚度的1/3到1/2),然后翻转晶圆,进行背面研磨(Grinding)将晶圆减薄,直至研磨到切割槽底部,芯片自然分离。

关键特点:

  • 专为超薄芯片设计: 这是其最大的优势。最终芯片厚度可以轻松达到100μm以下,甚至50μm或更薄,满足移动设备、穿戴设备对芯片小型轻薄化的极致需求。

  • 有效减少切割损伤: 因为首次切割时晶圆仍较厚,刚性足,能大幅降低切割应力和崩边风险,提升良率。

  • 工艺链条更长: 需要划片机研磨机的精密配合,对工艺整合能力要求更高。

典型应用场景:

  • 超薄芯片的封装,如CSP、WLP等先进封装。

  • 对芯片厚度有严苛要求的功率器件、MEMS传感器等。

  • 易脆、易裂的化合物半导体材料(如GaAs)。


如何选择?一张对比表说清楚

特性维度
完全切割 半切割
工艺本质
一步切穿,直接分离
先切后磨,间接分离
核心优势
流程简单、成熟稳定、效率高
可加工超薄晶圆、切割应力小、背面崩边少
主要挑战
超薄晶圆易碎裂、翘曲
需额外研磨步骤、工艺整合复杂、成本较高
适用厚度
通常 >150μm
可轻松实现 <100μm 甚至更薄
设备要求
划片机
划片机 + 研磨机(及精密对准系统)


“完全切割”与“半切割”,并非孰优孰劣,而是 “因材施教”的工艺选择

  • 追求成熟高效、成本可控的传统封装,完全切割依然是可靠的主力。

  • 面向轻薄短小、性能至上的先进封装未来,半切割技术则提供了关键的实现路径。

选择哪一种,取决于您的芯片设计、材料特性、厚度要求和最终应用

如果您正在为新一代产品的切割工艺路线而权衡,我们随时是您最专业的技术后盾。


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我司专业提供切割、研磨、抛光等工序设备、配件和耗材,主要产品有切割刀片、减薄砂轮;气浮主轴,刀架/法兰、陶瓷配件;切割研磨胶带、切削液等耗材以及贴膜机、UV机等相关配套设备,不断革新技术,性价比高、品质稳定。电话13787205243
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