溅射靶材

溅射靶材

一、应用

⑴溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等。
⑵亦可应用于玻璃镀膜领域。

⑶还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。

二、分类 

⑴根据形状可分为长靶、方靶、圆靶、异型靶。

⑵根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材。

⑶根据应用不同分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等。 

⑷根据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材。