ISO分级 |
大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度（颗/m3） |
|||||
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
|
ISO1级 |
10 |
2 |
||||
ISO2级 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
ISO3级 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO4级 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
ISO5级 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
ISO6级 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
ISO7级 |
352000 |
83200 |
2930 |
|||
ISO8级 |
3520000 |
832000 |
29300 |
|||
ISO9级 |
35200000 |
8320000 |
293000 |
|||
SO/TC209在1998年年中发行的第一份正式标准。ISO14644-1把空气洁净度分为9个等级，比美国联邦标准209E多出3个等级（请参见表C和表D）。微粒数量触发点（trigger points）在ISO14644-1和FS209E之间只存在细微的差别（请参见表E）。请注意：所有的ISO数据都是以公制为基础的。
表C 14644-1
空气中的悬浮粒子的洁净度等级
等级 |
每立方米微粒的数量（单位：μm） |
|||||
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
|
ISO1 |
10 |
2 |
||||
ISO2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
ISO3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
|
ISO5 |
100,000 |
23,000 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
ISO6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
ISO7 |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
|||
ISO8 |
3,252,000 |
832,000 |
29,300 |
|||
ISO9 |
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
|||
表D空气中的悬浮粒子的洁净度等级的对比
ISO 14644-1 |
FED STD 209E |
|
1 |
||
2 |
||
3 |
1 |
M1.5 |
4 |
10 |
M2.5 |
5 |
100 |
M3.5 |
6 |
1,000 |
M4.5 |
7 |
10,000 |
M5.5 |
8 |
100,000 |
M6.5 |
9 |
||
表E 0.5μm时的等级比较
ISO |
ISO14644-1 |
FED STD 209E |
1 |
- |
- |
2 |
4 |
- |
3 |
35 |
35.3 |
4 |
352 |
353 |
5 |
3,520 |
3,530 |
6 |
35,200 |
35,300 |
7 |
352,000 |
353,000 |
8 |
3,520,000 |
3,530,000 |
9 |
35,200,000 |
- |
洁净室系列标准是ISO标准的一个新体系，其工作由ISO/TC 209“洁净室和相关的控制环境”负责。此技术小组是在环境科学和技术学院（IEST）的协助下，由来自34个国家的1，000多名自愿者组成的。从现在到1999年底，TC209发行的10个标准将成为正式的ISO标准。
各标准的题目和发行时间如下：
ISO文件 |
题目 |
发行时间和形式 |
ISO-14644-1 |
空气洁净度的分类 |
97年10月FDIS（发行时间已延迟到98年10月） |
ISO-14644-2 |
洁净室的鉴定测试 |
97年10月DIS |
ISO-14644-4 |
洁净室的设计和结构 |
97年10月DIS |
ISO-14698-1 |
生物污染的一般原则 |
97年10月DIS |
ISO-14698-2 |
生物污染数据的鉴定和分析 |
97年10月DIS |
ISO-14698-3 |
表面的生物污染控制 |
98年6月DIS |
ISO-14644-3 |
测量学和测试方法 |
98年9月DIS |
ISO-14644-5 |
洁净室的操作 |
98年10月DIS |
ISO-14644-7 |
微观环境和绝缘体 |
98年10月DIS |
ISO-14644-6 |
术语、定义和单位 |
99年2月DIS |