什么是高纯硅溶胶?
硅溶胶是一种由纳米级二氧化硅(SiO₂)颗粒在水中稳定分散形成的胶体溶液。颗粒表面带负电,形成双电层结构,使其能够长期悬浮而不团聚。高纯硅溶胶则是在此基础上将金属杂质含量控制在较低水平。
我司钾型高纯硅溶胶以硅酸钠溶液为原料,在传统离子交换法基础上,以K+作为稳定剂,经过特殊纯化工艺制备而成。除K+外,其他总金属离子含量小于20ppm,兼具高纯度与优异的胶体稳定性,满足硅衬底粗抛光液的金属离子含量要求。
我司高纯硅溶胶详解
以下是我们的钾型高纯硅溶胶产品系列详细规格:
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产品特点
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产品优势
在CMP抛光的高下压力、高流速苛刻条件下,硅溶胶的性能直接决定了晶圆的表面质量、抛光速率的稳定性以及工艺的连续性。粒径分布窄可避免异常大颗粒,从而保证晶圆表面无划伤等缺陷;颗粒均一能使机械磨削力均匀,减小片间及批次间的速率波动;胶体稳定性好则可防止沉淀堵塞过滤器,减少设备停机时间。
我们的高纯硅溶胶凭借这三方面的突出表现,已通过抛光液制造商默*的验证,并成功进入多家CMP耗材厂商的抛光工序,进一步印证了其在高端CMP领域的可靠性与竞争力。
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产品应用
△化学机械抛光:八寸及以下硅衬底、碳化硅衬底、砷化镓衬底、磷化铟衬底,以及LED衬底、玻璃晶圆和掩膜版基板等。
△催化剂载体制备:利用窄分布颗粒可制得孔道均匀的载体,实现活性组分均匀负载,提高催化效率。
△其他对金属离子含量要求较低的场合:如特种涂层、功能复合材料、精密陶瓷等。
我司高纯硅溶胶系列产品以粒径分布窄、颗粒均一性好、稳定性高、金属离子含量低为优势,同时支持灵活定制(如钾型、铵型、钠型等不同稳定剂类型),能够满足多样化工艺需求。我们致力于为CMP耗材产业链提供稳定可靠的国产替代方案,并将持续加大研发投入,不断优化产品性能,助力国内半导体产业突破技术瓶颈,实现高质量发展。
以上是我司高纯硅溶胶的相关介绍,对于金属离子含量要求不高的硅溶胶需求,也可适配我司相关普硅产品,具体需求可洽小润。我们不仅可以根据客户不同工艺需求提供定制化服务,还可为客户的CMP工艺提供专业化技术诊断与支持。欢迎您随时垂询,我们将就产品及测试条件等相关问题为您一一解答。
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从机理到实测,细说硅片中抛缺陷的破解之道——抛光垫篇
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