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国产替代新力量:揭秘高纯硅溶胶

国产替代新力量:揭秘高纯硅溶胶 博来纳润
2026-06-05
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化学机械抛光(CMP)是晶圆制程中的核心工艺,直接决定工件表面精度与终端器件良率。而高纯硅溶胶作为半导体抛光液的核心磨料,其颗粒均一性、粒径可控性与胶体稳定性,正是影响抛光均匀度与生产稳定性的关键因素。
目前,国内高端抛光液所用的硅溶胶长期依赖进口,国际巨头凭借数十年技术积累筑起了较高的行业壁垒。随着CMP工艺对磨料粒径分布、稳定性的要求越来越高,市场对国产高纯硅溶胶的呼声也日益迫切。我们推出的系列产品正是为此而生,致力于为CMP耗材产业链提供稳定可靠的替代方案。当然,高纯硅溶胶的价值远不止于CMP——其高纯度、窄粒径分布与优异的胶体稳定性,在催化剂载体、特种涂层、精密陶瓷等领域同样发挥着不可替代的作用。


什么是高纯硅溶胶?

硅溶胶是一种由纳米级二氧化硅(SiO₂)颗粒在水中稳定分散形成的胶体溶液。颗粒表面带负电,形成双电层结构,使其能够长期悬浮而不团聚。高纯硅溶胶则是在此基础上将金属杂质含量控制在较低水平

我司钾型高纯硅溶胶以硅酸钠溶液为原料,传统离子交换法基础上,以K+作为稳定剂,经过特殊纯化工艺制备而成。除K+外,其他总金属离子含量小于20ppm,兼具高纯度与优异的胶体稳定性,满足硅衬底粗抛光液的金属离子含量要求。


我司高纯硅溶胶详解

以下是我们的钾型高纯硅溶胶产品系列详细规格:

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产品特点


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产品优势

在CMP抛光的高下压力、高流速苛刻条件下,硅溶胶的性能直接决定了晶圆的表面质量、抛光速率的稳定性以及工艺的连续性。粒径分布窄可避免异常大颗粒,从而保证晶圆表面无划伤等缺陷;颗粒均一能使机械磨削力均匀,减小片间及批次间的速率波动;胶体稳定性好则可防止沉淀堵塞过滤器,减少设备停机时间

我们的高纯硅溶胶凭借这三方面的突出表现,已通过抛光液制造商默*的验证,并成功进入多家CMP耗材厂商的抛光工序,进一步印证了其在高端CMP领域的可靠性与竞争力。

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产品应用

化学机械抛光:八寸及以下硅衬底、碳化硅衬底、砷化镓衬底、磷化铟衬底,以及LED衬底、玻璃晶圆和掩膜版基板等。

△催化剂载体制备:利用窄分布颗粒可制得孔道均匀的载体,实现活性组分均匀负载,提高催化效率。

△其他对金属离子含量要求较低的场合:如特种涂层、功能复合材料、精密陶瓷等。

我司高纯硅溶胶系列产品以粒径分布窄、颗粒均一性好、稳定性高、金属离子含量低为优势,同时支持灵活定制(如钾型、铵型、钠型等不同稳定剂类型),能够满足多样化工艺需求。我们致力于为CMP耗材产业链提供稳定可靠的国产替代方案,并将持续加大研发投入,不断优化产品性能,助力国内半导体产业突破技术瓶颈,实现高质量发展。

以上是我司高纯硅溶胶的相关介绍对于金属离子含量要求不高的硅溶胶需求,也可适配我司相关普硅产品,具体需求可洽小润。我们不仅可以根据客户不同工艺需求提供定制化服务,还可为客户的CMP工艺提供专业化技术诊断与支持。欢迎您随时垂询,我们将就产品及测试条件等相关问题为您一一解答。


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