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BFV真空蝶阀
弘毅致远·建晟未来
01
产品简介
弘晟智能BFV系列真空蝶阀是一种集压力控制器与机械运动结构于一体的真空阀门,其主要作用是通过调整阀板的角度来控制、调节和隔离真空系统的气体流速和流量,从而实现真空设备在不同制程或工艺过程中气体流动和真空压力的精确调节和控制。广泛应用于半导体,太阳能、平板显示,CVD等产业真空制程的快速控压要求。
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产品结构
BFV系列蝶阀一般安装在真空泵和真空腔室之间,通过集成的压力控制器实时采集真空腔室的真空压力并调节蝶阀阀板的开度大小,从而达到控制真空腔室真空压力的目的。阀板设计有全密封结构和非全密封结构两种结构,全密封结构可以实现阀门的全密封,以隔断真空侧和大气侧。
包含型号:KF25\40\50\80\100\150\200
ISO25\40\50\80\100\150\200
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控制系统
面板区域
控压波段
压力变化
弘晟智能的BFV蝶阀的控制器和执行器集成一体。可以通过多种通讯接口(Rs485、Ethercat等)与外部进行通信。还包含了用户交互界面,可以方便地设定与监控阀门状态。
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产品特点
> 非常快速准确的压力控制
> 阀门位置控制
> 传感器电源:24VDC
> 2个模拟量输入(0-10v)
> 一路模拟量输出(0-10v)
> 环境温度:
> 状态与位置以四位数码管显示以及
3个信号灯显示
> 包含手动旋钮模式
可调参数:
> PID参数
> 压力和位置模式
> 通信方式
> 阀板运行速度
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联系我们
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