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可生产3nm!中国研发出固态DUV光源技术,西方拦不住了!

可生产3nm!中国研发出固态DUV光源技术,西方拦不住了! 52赫兹实验室
2025-04-03
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导读:国产光刻机突破速度之快,已经让西方拦不住了。




国产光刻机突破速度之快,已经让西方拦不住了。


根据可靠消息,中科院成功研发出了全固态的DUV光源技术。


用这项技术制造芯片,可以造出3nm芯片。


而且成果得到了国际光电工程学会的认可。

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此前,光刻机巨头阿斯麦CEO曾说过,“美对华出口限制,将推动中国成功研发自己的技术”。


这下,预言成真了。


光刻机,这个被西方称为至高无上的神话,如今已到神话破灭的地步了。


如果说,光刻机是人类半导体工业皇冠上的明珠。


那么,阿斯麦就相当于握着最亮明珠的那个人。

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光刻机的作用是在硅片上刻出集成电路图案,而光源是最关键的组成部分之一,其性能更是直接决定了制程的精度。


放眼全球,只有阿斯麦掌握了最先进的EUV极紫外光技术,可以制造7纳米以下制程的芯片。


由于EUV光刻机采用了极紫外光源,在芯片制作过程中,只需要一次曝光就能完成。


比DUV光刻机需要曝光多次相比,大大减少了步骤。

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据悉,EUV光刻机有10万多个精密零件,90%来自超过40多个国家的5000多家供应商,而且各个都是顶尖水平。


比如,镜头是德国蔡司的,特殊复合材料是日本的,精密机床是瑞典的,控制软件跟光源是美国的。


如此庞大的技术体系,也造就了其不可复制的地位。


阿斯麦正是凭借“集全球最顶尖技术”这一法宝 ,能够在光刻机领域一骑绝尘。

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更关键的是,由于阿斯麦的大股东是美国,因此在对华芯片出口管制方面,不得不言听计从。


但现在,西方估计要慌了。


因为中科院成功研发出了全固态的DUV光源技术。


别看只是DUV光源,但其背后的含金量不容小觑。


阿斯麦的EUV光刻机采用的光源,是一项名叫氟化氙(ArF)的准分子激光技术。


该系统不仅结构复杂,而且大量专利长期被美日企业垄断。


而这次,中科院另辟蹊径,使用固态晶体产生光源。

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不同于EUV系统对极紫外线和高能等离子体光源的依赖,基于固态晶体激发的DUV光源,在一定条件下可实现媲美EUV精度的曝光效果。


并且,核心技术完全自主可控,绕开了西方相关的专利约束。


这意味着,西方想要通过光刻机的禁售,来锁死中国芯片发展,这条路已经行不通了。


除此以外,中科院这种方案让光刻结构更简单,整体体积可以缩小30%以上。


不仅让国产光刻机更容易建成,能耗方面也能下降很多。


更重要的是,一旦中国掌握了某种民用科技,相关设备的制造成本便会腰折,到时候清一色Made in China。

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此前,如果想要生产5nm芯片,不好意思,要用到阿斯麦EUV光刻机。


而这款光刻机,目前来说还是对中国禁售的。


但现在,中科院全固态的DUV光源技术的突破,让生产3nm芯片变成可能。


西方就等着看好了,曾经一个个高不可攀的山头,注定会被我们攻克。


中国不仅将在高端芯片领域,逐步摆脱对EUV光刻机的依赖,更能以“性价比优势”重塑全球半导体市场格局。

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阿斯麦CEO曾指出,物理定律在全世界都是一样的,中国没有理由造不出光刻机。


现在再回头看,真不愧是预言家。


虽然中科院这项突破还处在实验室阶段,离量产还有一定距离,但对芯片行业来说,无疑是一颗重磅炸弹。


正所谓,星星之火可以燎原。


如果中国在最尖端的光刻机上突破了,那么高端芯片变成白菜价,将指日可待。




 


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