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SCM的呈现

SCM的呈现

掺流科技

2023-09-20

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导读：扫描电容微变显微镜（SCM）常规输出结果四件套图文介绍

扫描电容微变显微镜(SCM)常规输出结果为四件套图片(如下)：

① Height Sensor图：表示表面的凹凸像。

② dC/dV Phase图：表示P/N型的载流子极性，在相位里设定亮色为P-type(空穴，正电性)与深色设定为N-type(电子，负电性)。

③ dC/dV Amplitude图：掺杂浓度相关，掺杂愈浓则电容变化振幅愈小，即总讯号愈小，反之则掺杂愈淡SCM讯号愈强。目前标准数据认为SCM的可探测范围为10^15~10^20/cm^3的浓度范围（即从硅衬底到源/漏极重掺杂的边缘区域,源/漏极内部的重掺杂是难以被SCM探测，呈现轻掺杂的N/P阱(~10^17 ~10^18/cm^3)的信号远大于重掺杂N/P+(源/漏极)(~10^20~10^21/cm^3)的信号。

④ SCM Data图：是结合振幅与相位的综合结果。

注：深色表N-Type,亮色表P-Type。

公司介绍：掺流科技（上海）有限公司是一家高科技第三方实验室，致力于高端的精流分析和技术研发；专注于器件级别的掺杂/载流子多尺度的结构分析；服务于中国半导体功率器件、IC集成电路产业，与此同时，不断拓展针对第三代半导体工艺分析、结构分析、失效分析等技术服务能力。

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联系邮箱：sales@sharpscan.com.cn

联系人及电话：黄先生/13023282870

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掺流科技

掺流科技（上海）有限公司是一家高科技第三方实验室，致力于高端的精流分析和技术研发；专注于器件级别的掺杂/载流子多尺度的结构分析；服务于中国半导体功率器件、IC集成电路产业，不断拓展针对第三代半导体工艺分析、结构分析、失效分析等技术服务能力。

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掺流科技掺流科技（上海）有限公司是一家高科技第三方实验室，致力于高端的精流分析和技术研发；专注于器件级别的掺杂/载流子多尺度的结构分析；服务于中国半导体功率器件、IC集成电路产业，不断拓展针对第三代半导体工艺分析、结构分析、失效分析等技术服务能力。

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