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不同方法制备样品的粗糙度测试

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不同方法制备样品的粗糙度测试

不同方法制备样品的粗糙度测试

掺流科技

2024-08-21

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导读：在半导体实验室中，我们制备样品的方法有很多种，有裂片的（通过SELA），研磨的，FIB高电压切片制备的，FIB低电压clean的等。

不同方法制备样品的

粗糙度测试

在半导体实验室中，我们制备样品的方法有很多种，有裂片的（通过SELA），研磨的，FIB高电压切片制备的，FIB低电压clean的等等。

如下是针对不同截面制备硅基样品做了AFM形貌检测，供有需求者参看。

一、SELA裂片的截面样品

硅面起伏在~384pm（如图1）

二、研磨的截面样品

硅面起伏在~988pm（如图2）

三、FIB高电压切片制备的

截面样品

硅面起伏在~2.2nm（如图3）

四、FIB低电压clean的

截面样品

硅面起伏在5~22nm（如图4）

本期寄语

相信相信的力量，成功只需要盯紧目标不断坚持！

公司介绍

掺流科技（上海）有限公司是一家高科技第三方实验室，致力于高端的精流分析和技术研发；专注于器件级别的掺杂/载流子多尺度的结构分析；服务于中国半导体功率器件、IC集成电路产业，与此同时，不断拓展针对第三代半导体工艺分析、结构分析、失效分析等技术服务能力。

如有需求，欢迎垂询掺流科技!

公司网址:http://www.sharpscan.com.cn/

联系邮箱:sales@sharpscan.com.cn

联系人及电话:黄先生/13023282870

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掺流科技（上海）有限公司是一家高科技第三方实验室，致力于高端的精流分析和技术研发；专注于器件级别的掺杂/载流子多尺度的结构分析；服务于中国半导体功率器件、IC集成电路产业，不断拓展针对第三代半导体工艺分析、结构分析、失效分析等技术服务能力。

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