半导体制造的精密温控，正在经历一场静默的合规洗牌。当传统含氟冷媒的淘汰进入读秒阶段，每一家晶圆厂都面临同一个选择:继续沿用过渡方案，还是直接切到长期合规路线?
凌恒工业的答案是后者，我们以天然工质CO2为冷媒，推出了专为中国半导体客户适配的Green系列Chiller——不是概念产品，是已进入量产、可交付的成熟方案。
冷媒淘汰时间线：留给过渡方案的时间不多了
先看几个关键时间节点：
R404A / R507：已在中国和欧盟市场淘汰出局；
R410A：中国明确于2029年禁止生产，欧盟已明确2025年1月1日开始，禁用含有或功能依赖于GWP值为750或以上的氟化温室气体。
这意味着，如果现在新建产线或更新旧设备时仍选择传统含氟冷媒，设备投产之日，几乎就是改造启动之时。
凌恒Green系列Chiller的冷媒选择很明确：天然工质CO₂，GWP=1，ODP=0。不在任何一份淘汰清单上。
被验证过的技术路线
这一选择的底气，部分来自行业先行者的实践。
2019年，台积电率先在其先进制程产线中导入CO₂ Chiller,其决策逻辑清晰而务实：用GWP=1的冷媒替代GWP近4000的传统方案，以控制CXF污染、保障良率，同时规避年度法定泄漏检查与冷媒回收等长期运营成本。五年以上的规模化运行，验证了CO₂跨临界循环技术的成熟度。
凌恒Green系列正是基于同等成熟的技术框架，针对中国Fab的电源标准、供回水温度习惯与空间布局做了专项再开发。我们交付的，是一套接上就能用的可靠设备。
凌恒CO₂ Chiller，三个值得关注的设计点
✅ ±0.1℃温控，覆盖-40℃至90℃
主力型号GVS010-W-32F，在-20℃可稳定输出2kW冷量，温控精度锁定±0.1℃。对于刻蚀等关键制程，温控的波动直接关系良率。若工艺需要更极端冷却，深冷型号GVS405-W-32F可在-40℃下提供4kW冷量。
✅ 能效提升30%以上
这背后是自研的DCC动态跨临界控制技术——毫秒级感知气体冷却器出口状态，动态调节膨胀阀、补气回路与压缩机转速的协同。据测算，一座月产10万片的Fab，由此实现的年节电效益可达数百万元。
✅ 超过80％的VCR接头比例
为了从物理结构上降低冷媒微渗漏风险，我们在管路关键连接点大量采用焊接和VCR接头替代螺纹和卡套，并在出厂前用高精度气体检测仪进行全系统检漏。这直接关系到洁净室的CXF污染控制和晶圆良率。
当合规的闸门缓缓落下，选择权属于提前布局者。凌恒工业CO₂ Chiller，为半导体产线提供一次到位、长期合规的精密温控保障。
